[发明专利]真空旋涂用托盘在审
| 申请号： | 201410760873.2 | 申请日： | 2014-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN105772351A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 张志勇;赵青山;赵少华;赵炜 | 申请（专利权）人： | 西安宝莱特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 李罡 |
| 地址： | 710075 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 旋涂用 托盘 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空旋涂用托盘，内置基片，其特征在于：主要包括圆盘本体，该圆盘本体中心向下开设凹槽，该凹槽中心开设定位孔，该凹槽内还设有多个真空孔，所述多个真空孔均匀设置于所述凹槽底部的侧边上。
2.根据权利要求1所述的真空旋涂用托盘，其特征在于：所述真空孔有四个，两两相对设置。
3.根据权利要求2所述的真空旋涂用托盘，其特征在于：相对设置的两个真空孔的连线与圆盘本体的圆心在同一条直线上。
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