[发明专利]基于光栅衍射的晶体自准直调整装置和方法

权利要求书

1.一种基于光栅衍射的晶体自准直调整装置，特征在于其构成包括：在主激光方向依次是空间滤波器(5)和待调整的晶体(10)，在空间滤波器(5)的小孔(3)的后面紧贴其小孔板放置透射光栅(4)，且小孔(3)的中心和透射光栅(4)的中心重合，主激光穿过小孔(3)和透射光栅(4)，最终照射到待调整的晶体(10)上，透射光栅中心有一个直径大于焦斑直径的圆形未刻蚀区；发光二极管(6)和准直透镜(7)构成准直的非相干照明光源，照射所述的透射光栅(4)；由成像透镜(8)和远场探测器(9)置于所述的透射光栅(4)的衍射光束方向构成远场成像系统，所述的远场探测器(9)的输出端接计算机的输入端；该计算机控制需要自准直调整的晶体(10)。

2.利用权利要求1所述的基于光栅衍射的晶体自准直调整装置实现高功率激光装置中晶体的自准直调整方法，特征在于该方法包括如下步骤：

①在主激光方向依次是所述的空间滤波器(5)和待调整的晶体(10)，首先在空间滤波器(5)的小孔(3)的后面紧贴其小孔板放置所述的透射光栅(4)，并保证小孔(3)的中心和透射光栅(4)的中心重合；

②打开主激光，主激光束穿过小孔(3)和透射光栅(4)，最终照射到待调整的晶体(10)上；

③打开发光二极管(6)照射透射光栅(4)产生衍射，调整非相干照明光源的准直光束的入射角，使透射光栅(4)产生的一级或者二级衍射光形成的透射光栅的轮廓经成像透镜(8)成像在远场探测器(9)上，远场探测器(9)将透射光栅(4)的轮廓的图像输入所述的计算机；

④根据计算机上透射光栅的轮廓图像，调整所述的晶体(10)，使晶体(10)表面反射的主激光的焦斑进入所述的透射光栅的轮廓图像的圆形未刻蚀区，即完成晶体的自准直调整。