[发明专利]蒸镀源和蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀源，所述蒸镀源内设置有沿其长度方向分布的加热件，其特征在于，所述加热件包括多个串联的加热部，对应于所述蒸镀源的长度方向的两端位置的加热部的热功率大于对应于所述蒸镀源的长度方向的中间位置的加热部的热功率。

2.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述加热部为线圈，对应于所述蒸镀源的两端位置的线圈的缠绕密度大于对应于所述蒸镀源的中间位置的线圈的缠绕密度。

3.根据权利要求2所述的蒸镀源，其特征在于，多个所述线圈的缠绕密度从所述蒸镀源的中间位置向所述蒸镀源的两端位置逐渐增大。

4.根据权利要求3所述的蒸镀源，其特征在于，多个所述线圈关于所述蒸镀源的长度方向的中心对称。

5.根据权利要求4所述的蒸镀源，其特征在于，从所述蒸镀源的长度方向的中心至任意一端依次设置有多个线圈，并且，在相邻两个线圈中，靠近端部的线圈的缠绕密度是靠近中心的线圈的缠绕密度的1.5倍。

6.根据权利要求4所述的蒸镀源，其特征在于，从所述蒸镀源的长度方向的中心至任意一端依次设置有第一线圈、第二线圈、……、第N线圈，其中，N为大于零的自然数，并且，所述第N线圈的缠绕密度是所述第一线圈的缠绕密度的(N+1)×0.5倍。

7.根据权利要求2至6中任意一项所述的蒸镀源，其特征在于，多个所述线圈由相同导电材料制作并形成一体化结构。

8.根据权利要求1至6中任意一项所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源还包括坩埚，所述加热件用于加热所述坩埚，所述坩埚用于放置蒸镀材料。

9.一种蒸镀装置，其特征在于，包括权利要求1至8中任意一项所述的蒸镀源。

10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括设置在所述蒸镀源两端外侧的反射板，所述反射板的反射面朝向所述蒸镀源设置。