[发明专利]蒸镀源和蒸镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及显示设备制造技术领域，尤其涉及一种蒸镀源和蒸镀装置。

背景技术

现有有机发光二极管(OLED)蒸镀装置中使用的蒸镀源主要有点源和线源两种，点型蒸镀源由于体积小，主要用于实验线和早期量产线中，线型蒸镀源由于能够较好地控制膜厚的均匀性，得到了广泛的应用。

目前，线型蒸镀源中的加热线的分布皆采用等间距的方式，如图1中所示，蒸镀源11中的加热线12以均匀的密度分布。然而，随着蒸镀源11的尺寸越做越大，这种方式会使其各个部位温度差异较大。这是由于蒸镀源11两端的热量散失比中间位置的热量散失要大，因此造成温度分布不均匀。在大型尺寸的线型蒸镀源中，中间温度与两端温度的差异甚至可达到30℃-40℃，这将使蒸镀材料的消耗速率不均匀，对于量产而言，会缩短蒸镀装置的使用周期。

为了达到温度分布的均匀性，现有的一种解决方法是在线型蒸镀源的两端另外多并联设置一些加热线，然而，这种解决方案会增加生产管理的风险性与复杂性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀源和蒸镀装置，以使蒸镀源的温度分布更加均匀，从而延长蒸镀源的使用周期。

为解决上述技术问题，作为本发明的第一个方面，提供一种蒸镀源，所述蒸镀源内设置有沿其长度方向分布的加热件，所述加热件包括多个串联的加热部，对应于所述蒸镀源的长度方向的两端位置的加热部的热功率大于对应于所述蒸镀源的长度方向的中间位置的加热部的热功率。

优选地，所述加热部为线圈，对应于所述蒸镀源的两端位置的线圈的缠绕密度大于对应于所述蒸镀源的中间位置的线圈的缠绕密度。

优选地，多个所述线圈的缠绕密度从所述蒸镀源的中间位置向所述蒸镀源的两端位置逐渐增大。

优选地，多个所述线圈关于所述蒸镀源的长度方向的中心对称。

优选地，从所述蒸镀源的长度方向的中心至任意一端依次设置有多个线圈，并且，在相邻两个线圈中，靠近端部的线圈的缠绕密度是靠近中心的线圈的缠绕密度的1.5倍。

优选地，从所述蒸镀源的长度方向的中心至任意一端依次设置有第一线圈、第二线圈、……、第N线圈，其中，N为大于零的自然数，并且，所述第N线圈的缠绕密度是所述第一线圈的缠绕密度的(N+1)×0.5倍。

优选地，多个所述线圈由相同导电材料制作并形成一体化结构。

优选地，所述蒸镀源还包括坩埚，所述加热件用于加热所述坩埚，所述坩埚用于放置蒸镀材料。

作为本发明的第二个方面，还提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括本发明所提供的上述蒸镀源。

优选地，所述蒸镀装置还包括设置在所述蒸镀源两端外侧的反射板，所述反射板的反射面朝向所述蒸镀源设置。

本发明中设置在蒸镀源两端位置的加热部的热功率比设置在中间位置的加热部的热功率大，因此能够补偿蒸镀源两端的热量散失，使蒸镀源内的温度分布更加均匀，从而使蒸镀材料的消耗速率更均匀，延长了蒸镀源的使用周期。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。

图1是现有技术中蒸镀源的示意图；

图2是本发明实施例所提供的蒸镀源的示意图之一；

图3是本发明实施例所提供的蒸镀源的示意图之二。

在附图中，11：现有技术中的蒸镀源；12：加热线；21：本发明中的蒸镀源；22：加热件；220：加热部；23：反射板。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

本发明首先提供一种蒸镀源，如图2中所示。所述蒸镀源21内设置有沿其长度方向分布的加热件22，加热件22包括多个串联的加热部220。其中，对应于蒸镀源21的长度方向的两端位置的加热部220的热功率大于对应于蒸镀源21的长度方向的中间位置的加热部220的热功率。例如在图2中，a、b、c分别表示相应的加热部220的长度。那么，长度为a的加热部220的热功率大于长度为c的加热部220的热功率。