[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、喷砂用掩模材料及被处理物的表面加工方法

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

(A)具有羧基的粘合剂聚合物、

(B)具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物、

(C)光聚合引发剂、

(D)含有磷的增塑剂、和

(E)硅烷化合物，

所述(B)成分的具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物包含氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(D)成分的含有磷的增塑剂包含下述通式(I)所表示的化合物，

通式(I)中，R³表示氢原子或者碳原子数1～3的烷基，R⁴表示亚苯基或者下述通式(II)所表示的2价基团，

通式(II)中，R⁵表示氢原子或者碳原子数1～3的烷基。

3.根据权利要求1或者权利要求2所述的感光性树脂组合物，作为所述(A)成分的具有羧基的粘合剂聚合物的聚合性单体，含有苯乙烯或者苯乙烯衍生物。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(A)成分的具有羧基的粘合剂聚合物的酸值为50～250mgKOH/g。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(A)成分的具有羧基的粘合剂聚合物的玻璃化温度Tg为30～100℃。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂组合物，所述氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物的重均分子量为2000～45000。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物，所述氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物具有2个乙烯性不饱和基团。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(E)成分的硅烷化合物包含具有巯基的硅烷化合物。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(E)成分的硅烷化合物包含下述通式(III)所表示的化合物，

通式(III)中，R表示碳原子数1～6的亚烷基，A表示烷基，B表示烷氧基、氯基、烷氧基烷氧基、乙酰氧基或者烯氧基，n表示0～2的整数。

10.一种感光性元件，其具有支撑体和形成在该支撑体上的由权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物形成的感光层。

11.一种被处理物的表面加工方法，其包含如下工序：

使用权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物在被处理物上形成感光层的感光层形成工序；

对所述感光层照射活性光线而在规定位置形成光固化部的曝光工序；

通过显影将所述光固化部以外的部分除去，形成抗蚀剂图案的显影工序；和

喷射研磨剂，对未形成抗蚀剂图案部分的被处理物进行切削的喷砂处理工序。

12.一种喷砂用掩模材料，其由权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物形成。