[发明专利]薄膜晶体管基板、其制作方法及使用之液晶显示面板

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄膜晶体管基板、其制作方法及使用此薄膜晶体管基板的液晶显示面板。

背景技术

液晶显示面板因其功耗小、成本低和无辐射等特点，近年来得到了广泛的应用于各个领域，如家庭、公共场所、办公场及个人电子相关产品等。液晶显示面板一般包括薄膜晶体管基板、对向基板以及夹设在两基板之间的液晶层。该薄膜晶体管基板包括由多个薄膜晶体管所组成的阵列。该薄膜晶体管用于控制液晶显示面板的数据写入，其包括栅极、沟道层、源极以及漏极等结构。其中，该沟道层通常由非晶硅、多晶硅或金属氧化物半导体等材料形成。但是，使用金属氧化物半导体作为沟道层的薄膜晶体管基板在制造过程中容易因为在形成源极与漏极等结构时对该沟道层造成影响，导致电子迁移率下降，导电效果不稳定，从而影响液晶显示器的显示效果。

发明内容

鉴于此，有必要提供一种可以提高薄膜晶体管性能的薄膜晶体管基板的制作方法。

进一步，提供一种由前述方法制作的薄膜晶体管基板及具有此薄膜晶体管基板的液晶显示面板。

一种薄膜晶体管基板的制作方法，其包括如下步骤：

提供一基板；

于该基板上形成薄膜晶体管；

于该薄膜晶体管上形成钝化层及像素电极层，该像素电极层与该薄膜晶体管的漏极电性连接；

将形成有该钝化层及该像素电极层的该薄膜晶体管基板置于一大气压强为2个标准大气压到7个标准大气压的高压环境下以增加该沟道层的氧离子浓度。

一种薄膜晶体管基板，该薄膜晶体管基板采用上述的制作方法制得。

一种液晶显示面板，其包括薄膜晶体管基板、与该薄膜晶体管基板相对设置的对向基板及夹于该薄膜晶体管基板与该对向基板之间的液晶层，该薄膜晶体管基板采用上述制作方法制作的薄膜晶体管基板。

相较于现有技术，本发明所提供的薄膜晶体管基板、其制作方法及使用此薄膜晶体管基板的液晶显示面板，通过一高于标准大气压强的高压环境对薄膜晶体管基板进行氧离子修补，能够得到具有稳定导电效果的薄膜晶体管基板。

附图说明

图1是本发明一较佳实施方式所提供的薄膜晶体管基板的制作流程图。

图2至图11是本发明具体实施方式薄膜晶体管基板之制作方法各部流程的剖视图。

图12是本发明一较佳实施方式所提供的液晶显示面板的剖视图。

主要元件符号说明