[发明专利]一种摩擦设备及其进行摩擦取向的方法

权利要求书

1.一种摩擦设备，其特征在于，包括：

基板承载装置，包括相对设置的用于固定基板的第一基台和第二基台；

设置于第一基台和第二基台之间的摩擦辊轮；

第一控制装置，用于执行一控制操作，使得摩擦辊轮在转动的状态下和所述基板承载装置之间产生一相对平移，以对承载于所述第一基台和第二基台的基板进行摩擦取向操作。

2.根据权利要求1所述的摩擦设备，其特征在于，所述第一控制装置包括：

第一驱动结构，设置于所述摩擦辊轮或基板承载装置；

第一控制模块，用于控制所述第一驱动结构，以在所述摩擦辊轮和基板承载装置之间产生相对平移运动。

3.根据权利要求2所述的摩擦设备，其特征在于，还包括第二控制装置，所述第二控制装置用于根据预设压入量控制所述第一基台和第二基台中的一个向所述第一基台和第二基台中的另一个移动调整所述第一基台与所述第二基台之间的距离。

4.根据权利要求3所述的摩擦设备，其特征在于，所述第二控制装置包括：

第二驱动结构，设置于基板承载装置；

第二控制模块，用于控制所述第二驱动结构，以调整所述第一基台与所述第二基台之间的距离。

5.根据权利要求2所述的摩擦设备，其特征在于，还包括用于支撑所述摩擦辊轮的支撑架。

6.根据权利要求2所述的摩擦设备，其特征在于，所述摩擦辊轮的外表面套设有摩擦布。

7.根据权利要求2所述的摩擦设备，其特征在于，所述第一基台和所述第二基台均通过真空吸附方式固定基板。

8.一种采用权利要求1-7任一项所述的摩擦设备进行摩擦取向的方法，其特征在于，包括以下步骤：

在基板承载装置的第一基台和第二基台上分别固定基板；

执行一控制操作，使得摩擦辊轮在转动的状态下同时与所述第一基台和所述第二基台之间产生一相对平移，以对承载于所述第一基台和第二基台的基板进行摩擦取向操作。