[发明专利]一种位置标定的方法及装置

权利要求书

1.一种位置标定的方法，应用于装片设备中，其特征在于，包括：

获取第一光学系统的中心与预设标定板的中心的第一坐标差，其中，所述预设标定板按照预设工艺轨迹运动至所述第一光学系统的视场中；

获取第二光学系统的中心与所述预设标定板的中心的第二坐标差，其中，所述预设标定板按照所述预设工艺轨迹从所述第一光学系统的视场运动至所述第二光学系统的视场中；

根据所述第一坐标差和所述第二坐标差，确定所述第一光学系统与所述第二光学系统之间的距离及夹角，使得所述装片设备能够根据所述距离及夹角实现芯片位置的标定；

其中，所述获取第一光学系统的中心与预设标定板的中心的第一坐标差，具体包括：

获取所述第一光学系统的中心在预设三维坐标系中的第一坐标；

获取所述预设标定板的中心在所述预设三维坐标系中的第二坐标，其中，所述预设标定板的中心由所述第一光学系统进行标定；

根据所述第一坐标和所述第二坐标，确定所述第一坐标差；

其中，所述获取第二光学系统的中心与所述预设标定板的中心的第二坐标差，具体包括：

获取所述第二光学系统的中心在所述预设三维坐标系中的第三坐标；

获取所述预设标定板的中心在所述预设三维坐标系中的第四坐标，其中，所述预设标定板的中心由所述第二光学系统进行标定；

根据所述第三坐标和所述第四坐标，确定所述第二坐标差。

2.根据权利要求1所述的位置标定的方法，其特征在于，所述第一光学系统包括工业相机，一端与所述工业相机连接的变倍或定倍镜头以及与所述镜头的另一端连接的转折棱镜；

所述第二光学系统包括工业相机以及与所述工业相机连接的变倍或定倍镜头；其中，

当所述预设标定板在所述第一光学系统的视场中时，所述预设标定板的中心由所述第一光学系统通过调节所述转折棱镜的位置来进行标定；

当所述预设标定板在所述第二光学系统的视场中时，所述预设标定板的中心由所述第二光学系统通过调节所述镜头及工业相机的位置来进行标定。

3.根据权利要求2所述的位置标定的方法，其特征在于，所述第二光学系统与所述预设标定板之间设置一透镜，通过调整所述透镜位置来实现所述第二光学系统对所述预设标定板的中心的标定。

4.根据权利要求1所述的位置标定的方法，其特征在于，所述根据所述第一坐标差和所述第二坐标差，确定所述第一光学系统与所述第二光学系统之间的距离及夹角，具体包括：

根据所述第一坐标差和所述第二坐标差，确定所述第一光学系统与所述第二光学系统之间的坐标差；其中，

所述坐标差包括：所述第一光学系统和所述第二光学系统沿所述预设三维坐标系的X轴方向上的距离、所述第二光学系统和所述第二光学系统沿所述预设三维坐标系的Y轴方向上的距离以及所述第一光学系统和所述第二光学系统与所述预设三维坐标系的Z轴之间的夹角。