[发明专利]一种键合线埋入扇入型封装件及其制备方法在审
申请号: | 201410843597.6 | 申请日: | 2015-08-02 |
公开(公告)号: | CN104505384A | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 谢天禹;王虎;于大全;夏国峰;王小龙 | 申请(专利权)人: | 华天科技(西安)有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/49;H01L21/60 |
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地址: | 710018 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 键合线 埋入 扇入型 封装 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及压焊、电镀、植球的工艺改进,具体是一种一种键合线埋入扇入型封装件及其制备方法。
背景技术
集成电路是信息产业和高新技术的核心,是经济发展的基础,集成电路封装是集成电路技术的主要组成部分。
对于目前芯片管脚节距大于PCB给与封装的面积,造成管脚无法对接。传统QFN、BGA封装想要实现扇入必须用RDL布线完成,但RDL成本昂贵,而且是原有封装变厚,此发明可以有效舍去RDL层,使得封装成本更低,厚度更薄。相比于MIS封装的扇入功能,此发明有效的缩短了键合线的长度,降低电阻、电感等参数,有效的提升了电性能。
发明内容
对于上述现有技术存在的问题,本发明提供了一种键合线埋入扇入型封装件及其制备方法,其基于现有工艺基础,是改变传统制造方式的新型结构工艺,不但可以满足超薄的趋势,也可以降低电性能参数,同时大大减少了键合线的有效长度。
一种键合线埋入扇入型封装件,主要由键合线、芯片、塑封体、金属焊盘和焊球组成,所述芯片由塑封体包围,塑封体内有键合线,键合线一端连接芯片,另一端延伸至塑封体表面,并与塑封体表面的金属焊盘连接,金属焊盘上有焊球。
键合线可以是金、银、铜、镀钯铜、合金线等。
金属焊盘可以是钛、铜、镍、金等中的一种。
金属焊盘上有焊料层。
焊料层可以是锡、锡铅、锡银、锡铜、锡银铜中的一种。
一种键合线埋入扇入型封装件的制备方法,其按照以下步骤进行:
步骤A:准备金属载体。
金属载体的材料可以是铜、铜合金、铁、铁合金、镍、镍合金等金属材料,优先选择铜或者铜合金材料。金属载体3可以为现有的封装用引线框架。对金属载体进行清洗和预处理,例如用等离子水去油污、灰尘等,以达到清洁的目的。
步骤B:上芯,芯片与金属载体连接,压焊,键合线连接芯片上表面的一端和另一端。
步骤C:塑封,塑封体包围芯片和键合线。
步骤D:去除金属载体。
步骤E:采用磨削工艺对塑封体减薄,在塑封体表面上露出键合线。
步骤F:在露出的键合线上采用溅射、蒸镀、化学镀或者电镀等方式制作金属焊盘。
步骤G:在金属焊盘上采用丝网印刷和电镀等方式,并经回流焊形成焊球,形成键合线埋入扇入型封装件。
附图说明
图1金属载体图;
图2上芯和压焊剖面图;
图3塑封后产品剖面图;
图4蚀刻掉金属载体的塑封体产品剖面图;
图5减薄塑封体产品示意图;
图6制作金属焊盘产品剖面图;
图7植球后产品剖面图。
图中1代表键合线,2代表芯片,3代表金属载体,4代表塑封体,5代表金属焊盘,6代表焊球。
具体实施方式
下面根据附图说明来对本发明做进一步描述。
如图7所示,一种键合线埋入扇入型封装件,主要由键合线1、芯片2、塑封体4、金属焊盘5和焊球6组成,所述芯片2由塑封体4包围,塑封体4内有键合线1,键合线1一端连接芯片2,另一端延伸至塑封体4表面,并与塑封体4表面的金属焊盘5连接,金属焊盘5上有焊球6。
键合线1可以是金、银、铜、镀钯铜、合金线等。
金属焊盘5可以是钛、铜、镍、金等中的一种。
金属焊盘5上有焊料层。
焊料层可以是锡、锡铅、锡银、锡铜、锡银铜中的一种。
一种键合线埋入扇入型封装件的制备方法,其按照以下步骤进行:
步骤A:准备金属载体3,如图1所示。
金属载体3的材料可以是铜、铜合金、铁、铁合金、镍、镍合金等金属材料,优先选择铜或者铜合金材料。金属载体3可以为现有的封装用引线框架。对金属载体3进行清洗和预处理,例如用等离子水去油污、灰尘等,以达到清洁的目的。
步骤B:上芯,芯片2与金属载体3连接,压焊,键合线1连接芯片2上表面的一端和另一端,如图2所示。
步骤C:塑封,塑封体4包围芯片2和键合线1,如图3所示。
步骤D:去除金属载体3,如图4所示。
步骤E:采用磨削工艺对塑封体4减薄,在塑封体4表面上露出键合线1,如图5所示。
步骤F:在露出的键合线1上采用溅射、蒸镀、化学镀或者电镀等方式制作金属焊盘5,如图6所示。
步骤G:在金属焊盘5上采用丝网印刷和电镀等方式,并经回流焊形成焊球6,形成键合线埋入扇入型封装件,如图7所示。
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