[发明专利]一种钽靶材的制备工艺在审
| 申请号： | 201410851242.1 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104480439A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 同磊;陈林;郑爱国;李桂鹏;汪凯;李兆博;程跃伟 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/16;C22F1/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钽靶材 制备 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种钽靶材的制备工艺，包括以下步骤：
A)，将钽粉进行等静压成型，得到钽坯；
B)，将所述钽坯进行烧结，将烧结得到的钽坯进行轧制后进行热处理，得到钽靶材。
2.根据权利要求1所述的制备工艺，其特征在于，所述钽粉为采用钠热还原法生产的钽粉。
3.根据权利要求1所述的制备工艺，其特征在于，所述钽粉的松装密度为1.8g/cm3～2.6g/cm3，所述钽粉的费氏粒径为2.1μm～3.1μm。
4.根据权利要求1所述的制备工艺，其特征在于，所述等静压成型为冷等静压成型。
5.根据权利要求4所述的制备工艺，其特征在于，所述冷等静压成型的压力大于200MPa，保压时间大于20min。
6.根据权利要求1所述的制备工艺，其特征在于，所述等静压成型在乳胶包套中进行。
7.根据权利要求1所述的制备工艺，其特征在于，所述烧结的真空度大于1.0×10-2MPa，温度大于2400℃，保温时间大于1.5h。
8.根据权利要求1所述的制备工艺，其特征在于，所述烧结得到的钽坯的密度≥15.4g/cm3，纯度≥99.99％。
9.根据权利要求1所述的制备工艺，其特征在于，所述轧制的总加工率为30％～60％。
10.根据权利要求1所述的制备工艺，其特征在于，所述热处理的温度为所述钽坯熔点的25％～45％。
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