[发明专利]差示扫描量热仪及其制作方法

权利要求书

1.一种差示扫描量热仪，其特征在于，包括：

采用厚膜工艺形成的主体核心部分，所述主体核心部分为一体成型的结构；以及

设置于所述主体核心部分外侧的隔热层；

其中，所述主体核心部分包括：传导层；依次设置于所述传导层一侧的第一绝缘层、传感器层以及第二绝缘层；以及依次设置于所述传导层另一侧的第三绝缘层、加热层以及第四绝缘层；所述传感器层包括对称分布的样品侧传感器以及参比侧传感器，所述第二绝缘层完全覆盖所述样品侧传感器以及参比侧传感器。

2.如权利要求1所述的差示扫描量热仪，其特征在于，所述传导层、第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层以及第四绝缘层均为圆片状结构，且所述传导层的面积大于所述第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层以及第四绝缘层的面积。

3.如权利要求1所述的差示扫描量热仪，其特征在于，所述加热层、样品侧传感器以及参比侧传感器均为平面双螺旋状结构。

4.如权利要求1所述的差示扫描量热仪，其特征在于，所述隔热层包括上部隔热层、下部隔热层以及侧壁隔热层；所述上部隔热层设置于所述传导层上方并包围所述第一绝缘层、传感器层以及第二绝缘层；所述下部隔热层设置于所述传导层下方，并覆盖所述第四绝缘层以及传导层；所述侧壁隔热层包围所述传导层的侧壁。

5.一种差示扫描量热仪的制作方法，其特征在于，包括：

采用厚膜工艺形成主体核心部分，所述主体核心部分为一体成型的结构；以及

在所述主体核心部分外侧形成隔热层；

其中，所述主体核心部分包括：传导层；依次设置于所述传导层一侧的第一绝缘层、传感器层以及第二绝缘层；以及依次设置于所述传导层另一侧的第三绝缘层、加热层以及第四绝缘层；所述传感器层包括对称分布的样品侧传感器以及参比侧传感器，所述第二绝缘层完全覆盖所述样品侧传感器以及参比侧传感器。

6.如权利要求5所述的差示扫描量热仪的制作方法，其特征在于，采用印刷工艺将所述第一绝缘层、传感器层以及第二绝缘层依次印刷在所述传导层一侧，并采用印刷工艺将第三绝缘层、加热层以及第四绝缘层依次印刷在所述传导层另一侧，然后烧结成型。

7.如权利要求6所述的差示扫描量热仪的制作方法，其特征在于，烧结成型后进行热处理工艺。

8.如权利要求5至7中任一项所述的差示扫描量热仪的制作方法，其特征在于，所述传导层、第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层以及第四绝缘层均为圆片状结构，且所述传导层的面积大于所述第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层以及第四绝缘层的面积。

9.如权利要求5至7中任一项所述的差示扫描量热仪的制作方法，其特征在于，所述加热层、样品侧传感器以及参比侧传感器均为平面双螺旋状结构。

10.如权利要求5至7中任一项所述的差示扫描量热仪的制作方法，其特征在于，所述隔热层包括上部隔热层、下部隔热层以及侧壁隔热层；所述上部隔热层设置于所述传导层上方并包围所述第一绝缘层、传感器层以及第二绝缘层；所述下部隔热层设置于所述传导层下方，并覆盖所述第四绝缘层以及传导层；所述侧壁隔热层包围所述传导层的侧壁。