[实用新型]硅片烘干机

权利要求书

1.一种硅片烘干机，包括支架（3），支承于支架（3）上的烘干腔体（4），所述烘干腔体（4）左右两侧设置有硅片篮进口（13）与硅片篮出口（2），其特征在于：在所述支架（3）上还设置有贯穿硅片篮进口（13）与硅片篮出口（2）的滑轨（8），在所述支架（3）上还可移动地支承有与滑轨（8）平行的拉杆（7），在所述拉杆（7）上铰支有推送爪（6），所述拉杆（7）由往复直线运动机构（1）驱动。

2.根据权利要求1所述的硅片烘干机，其特征在于：在所述支架（3）上设置有两根滑轨（8），两根滑轨（8）之间设有两根拉杆（7）。

3.根据权利要求1所述的硅片烘干机，其特征在于：在所述支架（3）上设置有四根滑轨（8），四根滑轨（8）形成两组，每组的两根滑轨（8）之间设有两根拉杆（7）。

4.根据权利要求1、2或3所述的硅片烘干机，其特征在于：所述滑轨（8）上平面设有减摩垫片（17）。

5.根据权利要求1所述的硅片烘干机，其特征在于：所述推送爪（6）上设有配重块（20）。

6.根据权利要求1或5所述的硅片烘干机，其特征在于：所述推送爪（6）的推送面朝向硅片篮出口（2），推送爪（6）的铰支轴心线位于其推送面与重心之间，在所述拉杆（7）上还设置有与推送爪（6）相对应的推送爪挡块（18）。

7.根据权利要求1所述的硅片烘干机，其特征在于：所述硅片篮进口（13）与硅片篮出口（2）分别设有自动门（12）。

8.根据权利要求1所述的硅片烘干机，其特征在于：所述烘干腔体（4）上部设有送风口（10），所述烘干腔体（4）下部设有回风口（9），回风口（9）与送风口（10）之间通过风道（5）通连有风机（14）与加热器（15）。

9.根据权利要求8所述的硅片烘干机，其特征在于：所述送风口（10）设置有过滤装置（11）。

10.根据权利要求8所述的硅片烘干机，其特征在于：所述风道（5）上设有补风口（16）。