[实用新型]硅片烘干机

说明书

技术领域

　　本实用新型涉及一种烘干设备，尤其涉及一种硅片清洗后的烘干设备。

背景技术

硅片生产过程中须经过清洗工序，硅片清洗后要去除其表面的水分，以得到清洁、干燥的硅片，硅片烘干机是硅片清洗后去除表面水分的最常用的设备。目前硅片清洗机都是以清洗母篮承载数个装有硅片的硅片篮进行清洗，清洗完成后同样是以清洗母篮承载着硅片篮进入烘干机内进行烘干，在烘干过程中，烘干机通过传送带输送清洗母篮按工艺节拍逐步通过烘干机内的烘干腔体，经热风吹扫使硅片及硅片篮和清洗母篮表面的水分挥发，从而得到干燥的硅片，经烘干后的硅片母篮由传送带输送出烘干腔体，由人工进行下料操作。上述烘干机对以母篮承载硅片篮进行清洗并由人工进行烘干后下料的生产形式是基本不存在什么问题的。

随着人们对设备自动化要求的提高，以清洗母篮承载硅片篮进行清洗并由人工进行烘干后下料的生产形式已不能适应要求，最新的硅片清洗机已不再采用这种形式，而是以机械手一次直接抓取数个硅片篮在各清洗槽内进行清洗，不再使用清洗母篮进行装载，而且各硅片篮进入清洗机以及清洗完成经烘干后从烘干机输出都是通过专门的机械手进行操作，这就对每一生产节拍从烘干机输出的各硅片篮提出了较高的位置要求，而通常所用的传送带的输送形式由于传动带可能存在的打滑以及传送带运动时的惯性会造成输送定位不准，因而无法满足无母篮清洗机及自动下料的生产形式的要求。

实用新型内容

针对现有技术所存在的上述不足，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种硅片烘干机，它不仅能满足每一生产节拍输出多个硅片篮的烘干要求，而且各硅片篮烘干输出后具有确定的位置。

为了解决上述技术问题，本实用新型的一种硅片烘干机，包括支架，支承于支架上的烘干腔体，所述烘干腔体左右两侧设置有硅片篮进口与硅片篮出口，在所述支架上还设置有贯穿硅片篮进口与硅片篮出口的滑轨，在所述支架上还可移动地支承有与滑轨平行的拉杆，在所述拉杆上铰支有推送爪，所述拉杆由往复直线运动机构驱动。

在上述结构中，由于在所述支架上还设置有贯穿硅片篮进口与硅片篮出口的滑轨，则所述的滑轨长度大于硅片篮进口与硅片篮出口之间的距离，滑轨两端会分别伸出硅片篮进口与硅片篮出口之外，所要烘干的数个硅片篮可搁置在硅片篮进口外的滑轨进口端，进入烘干腔体内烘干后再输送至硅片篮出口外的滑轨出口端；又由于在所述支架上还可移动地支承有与滑轨平行的拉杆，在所述拉杆上铰支有推送爪，所述拉杆由往复直线运动机构驱动，则搁置在滑轨进口端上的数个硅片篮由铰支在拉杆上的相应位置的一组推送爪从硅片篮进口往硅片篮出口方向推送，拉杆在往复直线运动机构的驱动下带动推送爪向硅片篮出口方向运动，各推送爪的推送面与相应硅片篮接触，推动硅片篮往硅片篮出口方向运动一个工位，然后反方向运动返回，返回过程中推送爪会在碰到硅片篮时绕其铰支中心转动以避让，返回到达原位后，准备下一次的推送；在拉杆上对应于每一工位都设有相应数量的推送爪，这样每次推动各工位上的各硅片篮向前移动一个工位，每次运动都有多个硅片篮到达硅片篮出口外的滑轨出口端，由下料机械手或人工进行下料操作，由于拉杆的往复运动行程是确定的，则其上的推送爪每次运动后所到达的位置就是一致的，这样保证了所输送的各硅片篮输出后的位置是确定的，其定位精度可以满足自动下料机械手的操作要求。因此，采用本技术方案不仅能满足每一生产节拍输出多个硅片篮的烘干要求，而且各硅片篮烘干输出后具有确定的位置。

本实用新型的一种优选实施方式，在所述支架上设置有两根滑轨，两根滑轨之间设有两根拉杆。采用该实施方式，硅片篮两端分别搁置在两根滑轨上，由两根滑轨之间的两根拉杆来提供推送动力，这样硅片篮搁置平稳，推送过程不会出现硅片篮的偏移现象。

本实用新型的另一种优选实施方式，在所述支架上设置有四根滑轨，四根滑轨形成两组，每组的两根滑轨之间设有两根拉杆。采用该实施方式，每组的两根滑轨及其中的两根拉杆可平稳地推送一列硅片篮，四根滑轨及其中的拉杆则可同时推送两列硅片篮，适应了清洗机的不同使用要求，有效地提高了生产效率。

本实用新型的又一种优选实施方式，所述滑轨上平面设有减摩垫片。采用该实施方式，可以有效地减少硅片篮与滑轨之间的摩擦，降低摩擦噪音。

本实用新型再一种优选实施方式，所述推送爪上设有配重块。采用该实施方式，可以通过配重块加大转动力矩，保证推送爪铰支于拉杆上时的转动灵活性，防止有灰尘粘附在铰接连接处时阻碍推送爪的转动。