[实用新型]一种平面等离子发生器

权利要求书

1.一种平面等离子发生器，包括工作架，其特征在于，还包括真空室、电感线圈、绝缘体、屏蔽筒、真空隔离装置、射频匹配器、射频源及电源地；所述工作架置于所述真空室中，将所述电感线圈设置于所述绝缘体中，同时将所述绝缘体设置于所述真空室中，所述电感线圈通过所述屏蔽筒及所述真空隔离装置与所述真空室外部的所述射频匹配器相连接，所述射频匹配器还设置依次与所述射频源及所述电源地相连接。

2.如权利要求1所述的平面等离子发生器，其特征在于，所述电感线圈为平面电感耦合线圈，所述平面电感耦合线圈的结构为盘香形、U形或哑铃形，所述平面电感耦合线圈由空心铜管绕制而成，内部通水冷却或通气冷却。

3.如权利要求1所述的平面等离子发生器，其特征在于，所述绝缘体材料为四氟板、玻璃、石英或陶瓷。

4.如权利要求1所述的平面等离子发生器，其特征在于，还包括屏蔽板，设置于所述绝缘体的背面，所述屏蔽板的面积大于所述电感线圈的面积并与所述屏蔽筒连接，形成屏蔽电极。

5.如权利要求4所述的平面等离子发生器，其特征在于，所述屏蔽板的材料为铝板、铜板、不锈钢板。

6.如权利要求5所述的平面等离子发生器，其特征在于，所述电感线圈及所述绝缘体的背面由所述屏蔽板屏蔽或直接靠着所述真空室内壁。

7.如权利要求4所述的平面等离子发生器，其特征在于，所述屏蔽筒为铝筒、不锈钢或铜筒，所述屏蔽筒一端与所述屏蔽板相连接，另一端与所述真空室外部的真空隔离装置相连接。

8.如权利要求4所述的平面等离子发生器，其特征在于，还包括一绝缘平板，所述绝缘平板包围所述屏蔽板。

9.如权利要求2所述的平面等离子发生器，其特征在于，所述平面电感耦合线圈穿过所述屏蔽筒和所述真空隔离装置，与所述真空室外部的所述射频匹配器相连接，形成射频耦合通路。