[实用新型]用于晶圆级植球机的搭载平台

权利要求书

1.一种用于晶圆级植球机的搭载平台，包括底部X轴运动系统、底部Y轴运动系统和底部Z轴运动系统；其特征在于，还包括外圈Z轴运动机构、内圈Z轴运动机构、晶圆支撑柱、搭载平台外圈和搭载平台内圈，外圈Z轴运动机构、内圈Z轴运动机构和晶圆支撑柱分别安装在Z轴运动系统上，搭载平台外圈安装在外圈Z轴运动机构上，搭载平台内圈安装在内圈Z轴运动机构上，晶圆支撑柱设置在搭载平台内圈下方并可穿过搭载平台内圈向上伸出；所述底部X轴运动系统、底部Y轴运动系统、底部Z轴运动系统、外圈Z轴运动机构和内圈Z轴运动机构分别采用伺服电机驱动和精密丝杠传动，在搭载平台外圈、搭载平台内圈和晶圆支撑柱上分别设有真空吸附孔。

2.如权利要求1所述的用于晶圆级植球机的搭载平台，其特征在于：所述底部Z轴运动系统包括底部Z轴伺服电机和四个底部Z轴传动丝杠，四个底部Z轴传动丝杠分别设置在底部Y轴运动系统的四角上方，四个底部Z轴传动丝杠通过底部同步齿形带与底部Z轴伺服电机同步传动相连。

3.如权利要求1所述的用于晶圆级植球机的搭载平台，其特征在于：所述外圈Z轴运动机构包括外圈Z轴伺服电机和四个外圈Z轴丝杠，四个外圈Z轴丝杠分别设置在搭载平台外圈的四角下方，四个外圈Z轴丝杠通过外圈同步齿形带与外圈Z轴伺服电机同步传动相连。

4.如权利要求1所述的用于晶圆级植球机的搭载平台，其特征在于：所述内圈Z轴运动机构包括内圈Z轴伺服电机和四个内圈Z轴丝杠，四个内圈Z轴丝杠分别设置在搭载平台内圈的下方，四个内圈Z轴丝杠通过内圈同步齿形带与内圈Z轴伺服电机同步传动相连。

5.如权利要求1所述的用于晶圆级植球机的搭载平台，其特征在于：所述搭载平台内圈呈圆形，搭载平台外圈呈外方内圆形，其内圆与搭载平台内圈相适配，搭载平台内圈与搭载平台外圈之间可作相对穿插运动。

6.如权利要求1所述的用于晶圆级植球机的搭载平台，其特征在于：还包括DD马达和θ旋转平台，DD马达安装在底部Z轴运动系统上，θ旋转平台和DD马达传动相连并与搭载平台内圈相连，可带动搭载平台内圈作θ旋转。

7.如权利要求1所述的用于晶圆级植球机的搭载平台，其特征在于：所述精密丝杠的移动精度为1微米，所述搭载平台的定位精度为10微米。

8.如权利要求1所述的用于晶圆级植球机的搭载平台，其特征在于：所述晶圆支撑柱为三个，三个晶圆支撑柱等分在φ60分度圆周上。