[实用新型]一种用于测试SEM实验中的硅片保护装置

说明书

技术领域

    本实用新型主要涉及实验器材领域，尤其涉及一种用于测试SEM实验中的硅片保护装置。

背景技术

    在测试SEM领域中，对硅片进行测试时，需要放在铜片上进行，由于对硅片的转移次数越多，硅片被污染的概率就越大，需要一种装置来减少硅片被污染的概率。

实用新型内容

本实用新型目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种用于测试SEM实验中的硅片保护装置。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种用于测试SEM实验中的硅片保护装置，其特征在于：包括有盒子以及与盒子配套的盖子，盒子内中部固定有一个筒体，盒子中置有一个圆形铜片，圆形铜片的下端面中部固定安装有一个小圆柱体，小圆柱体插在所述的筒体中，圆形铜片上端面上环设有多个硅片，硅片粘在圆形铜片上。

所述的一种用于测试SEM实验中的硅片保护装置，其特征在于：所述的盒子的截面形状为圆形或正方形。

所述的一种用于测试SEM实验中的硅片保护装置，其特征在于：所述的小圆柱体的高度大于筒体的高度。

本实用新型的优点是：

本实用新型在使用过程中，直接将不同规格的硅片分别粘于铜片上并连同铜片一起放在盒子中，需要对硅片进行测试时，直接用手捏着或用镊子夹着铜片上的小圆柱体将其取出并放在测试装置中即可，避免污染，使用方便可靠。

附图说明

图1为本实用新型的盒子内部结构示意图。

图2为本实用新型的盒子及盖子的结构示意图。

具体实施方式

如图1、2所示，一种用于测试SEM实验中的硅片保护装置，包括有截面为正方形的盒子1以及与盒子配套的盖子2，盒子1内中部固定有一个筒体3，盒子1中置有一个圆形铜片4，圆形铜片4的下端面中部固定安装有一个小圆柱体5，小圆柱体5插在所述的筒体3中，圆形铜片4上端面上环设有多个硅片6，硅片6粘在圆形铜片4上。

小圆柱体5的高度大于筒体3的高度。