[实用新型]图案化蓝宝石基板的蚀刻制程用承载盘

权利要求书

1.一种图案化蓝宝石基板的蚀刻制程用承载盘，其特征在于，其包括有：

一承载盘，该承载盘为石英材质所一体成型，且该承载盘具有一上端面与一下端面，又该上、下端面贯穿有至少一容置口，且该承载盘于上端面向容置口中心凸设有复数个接触点；以及

一托盘，该托盘为铝合金材质所制成，该托盘呈圆盘状并于托盘外周缘形成有一结合部，又该托盘以结合部组设于该承载盘的容置口处，且该托盘的中央处贯穿有一导气孔，另该托盘朝向承载盘的上端面形成有一平整面，并于平整面的周缘处凹设有一槽沟，而该槽沟处装设有一凸出平整面的密封垫圈，通过托盘的密封垫圈与承载盘的接触点夹设固定一晶圆。

2.根据权利要求1所述的图案化蓝宝石基板的蚀刻制程用承载盘，其特征在于，其中，该承载盘的接触点为三个，且各该接触点之间皆形成有120度的夹角。

3.根据权利要求1所述的图案化蓝宝石基板的蚀刻制程用承载盘，其特征在于，其中，该承载盘的接触点为四个，且各该接触点之间皆形成有90度的夹角。

4.根据权利要求1所述的图案化蓝宝石基板的蚀刻制程用承载盘，其特征在于，其中，该承载盘于容置口的内壁面处形成有一环槽，又该托盘于结合部处呈环状设有一凹槽，并于凹槽处装设有一限位垫圈，而该托盘以限位垫圈卡设于承载盘的环槽处。

5.根据权利要求1所述的图案化蓝宝石基板的蚀刻制程用承载盘，其特征在于，其中，该承载盘于容置口与下端面连接处形成有一外扩状的斜面，通过斜面将托盘导正。

6.根据权利要求1所述的图案化蓝宝石基板的蚀刻制程用承载盘，其特征在于，其中，该承载盘的容置口与托盘的密封垫圈皆形成有一平切部，通过平切部供晶圆对位。