[实用新型]一种晶圆清洗甩干机的移动门有效
| 申请号： | 201420060911.9 | 申请日： | 2014-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN203704628U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 唐强;冯惠敏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/12 | 分类号： | F26B25/12 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 甩干机 移动 | ||
1.一种晶圆清洗甩干机的移动门，其特征在于，所述晶圆清洗甩干机的移动门包括：
位于晶圆清洗甩干机外壳顶部、可以滑动打开的外部移动门；
位于晶圆清洗甩干机腔体顶部、用于控制腔体开关的内部移动门；所述内部移动门由内外两层结构构成，其中内部移动门外层结构固定在腔体一侧的内壁上，内部移动门内层结构可以左右滑动；所述内部移动门内层结构的内外表面均纵向均匀地分布有沟槽。
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗甩干机的移动门，其特征在于：所述内部移动门内层结构的两端设置有进水口。
3.根据权利要求1所述的晶圆清洗甩干机的移动门，其特征在于：所述内部移动门内层结构的外表面设有沿其两侧边缘的凸出区。
4.根据权利要求1所述的晶圆清洗甩干机的移动门，其特征在于：所述内部移动门内外两层结构的材料均为亲水材料。
5.根据权利要求4所述的晶圆清洗甩干机的移动门，其特征在于：所述内部移动门内外两层结构的材料均为亲水石英。
6.根据权利要求1所述的晶圆清洗甩干机的移动门，其特征在于：所述内部移动门内外两层结构的表面均为颗粒喷涂面。
7.根据权利要求1所述的晶圆清洗甩干机的移动门，其特征在于：所述内部移动门内外两层结构的形状均为弧形。
8.根据权利要求1所述的晶圆清洗甩干机的移动门，其特征在于：所述外部移动门的表面为颗粒喷涂面。
9.根据权利要求1所述的晶圆清洗甩干机的移动门，其特征在于：所述外部移动门的材料为亲水材料。
10.根据权利要求9所述的晶圆清洗甩干机的移动门，其特征在于：所述外部移动门的材料为亲水石英。
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