[实用新型]一种晶片研磨浆料回收系统

权利要求书

1.一种晶片研磨浆料回收系统，其包括晶片研磨台与晶片研磨浆料回收装置，其特征在于，所述晶片研磨浆料回收装置包括采用空心结构的研磨浆料处理室；所述晶片研磨浆料回收装置设置有连接至晶片研磨机台的浆料流入管道，以及浆料流出管道，其分别通过浆料流入口、浆料流出口与研磨浆料处理室连接，浆料流出管道端口处设置有浆料收集槽；所述研磨浆料处理室内部设置有多级过滤装置，过滤装置中至少包含有一级大孔径过滤装置，以及一级小孔径过滤装置；所述大孔径过滤装置设置在浆料流入管道对应位置；所述小孔径过滤装置设置在浆料流出管道对应位置，且其与浆料流出管道之间设置有阻隔层。

2.按照权利要求1所述的晶片研磨浆料回收系统，其特征在于，所述大孔径过滤装置由支架与过滤网组成；所述支架包括多根长度相同，且由浆料流入口边缘向研磨浆料处理室内部延伸的条形支架，以及设置在条形支架端点上的环形支架；所述过滤网设置在支架内侧， 且与支架紧密连接。

3.按照权利要求1或2所述的晶片研磨浆料回收系统，其特征在于，所述大孔径过滤装置中设置有四根条形支架，其与浆料流入口所在平面所处锐角大小均相等；相邻条形支架之间夹角均相等。

4.按照权利要求1所述的晶片研磨浆料回收系统，其特征在于，所述小孔径过滤装置包括框架与过滤网；所述框架包括上边部、下边部，以及侧边部，其中，上边部与研磨浆料处理室中浆料流出口所在端面活动连接，下边部与研磨浆料处理室底面活动连接，侧边部与研磨浆料处理室侧边部活动连接；所述过滤网在设置在框架边部之间；所述阻隔层设置在框架所在平面与浆料流出口之间，其与框架所在平面平行；所述阻隔层上设置有浆料流出阀。

5.按照权利要求1或4所述的晶片研磨浆料回收系统，其特征在于，所述框架的侧边部上均设置有卡扣，研磨浆料处理室对应端面在其对应位置设置有与卡扣相对应的卡槽。

6.按照权利要求5所述的晶片研磨浆料回收系统，其特征在于，所述框架下边部与阻隔阀之间的研磨浆料处理室内壁上设置有电控阀。

7.按照权利要求1、2、4任意一项所述的研磨浆料回收装置，其特征在于，所述大孔径过滤装置中过滤网的网眼直径为4至5微米，所述小孔径过滤装置中过滤网的网眼直径为0.1至0.25微米。

8.按照权利要求7所述的研磨浆料回收装置，其特征在于，所述晶片研磨浆料回收装置上设置有浆料搅拌泵，其由设置在研磨浆料处理室外部的外壳，与设置在外壳内部的电机与搅拌棒连接；所述搅拌棒延伸至研磨浆料处理室内部，其末端设置有搅拌叶片；所述搅拌叶片位于大孔径过滤装置与小孔径过滤装置之间。

9.按照权利要求8所述的研磨浆料回收装置，其特征在于，所述研磨浆料处理室上设置有延伸至晶片研磨台的浆料回流装置，其由连接至研磨浆料处理室内浆料流出口位置的浆料回流管道，设置在浆料处理室上的浆料回流泵，以及与晶片研磨台相连接的浆料回收管道构成；所述浆料回流管道设置在研磨浆料处理室外侧，且固定在研磨浆料处理室外壁上；所述浆料回流泵上设置有连通至浆料回收管道的备用浆料回收管道；备用浆料回收管道上设置有备用浆料回收管道控制阀。