[实用新型]一种晶片研磨浆料回收系统

说明书

技术领域

    本实用新型涉及一种晶片加工装置，尤其是一种晶片研磨浆料回收系统。

背景技术

在晶片加工中，往往在研磨机台内通过含有研磨粉料的研磨浆料对晶片进行研磨。而研磨浆料往往在加工中会出现不同程度的渗出或流失，其会造成相当的浪费。同时研磨粉料在研磨过程中，其直径会随研磨时间逐渐减小；较大的研磨粉料可以提高研磨加工的效率，但同时会使得晶片粗糙度有所增加；较小的研磨粉料可以加工中低粗糙度的晶片，但其研磨效率低下，而且当研磨粉料的直径小于一定数值，其将无法对晶片进行研磨；故而在研磨过程中对浆料内的研磨粉料的直径进行控制直接影响晶片加工的效率与质量。

实用新型内容

本发明要解决的技术问题是提供一种晶片研磨辅助系统，其可对晶片研磨中的研磨浆料进行回收，并筛选出含有最佳规格的研磨粉末的浆料。

    为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶片研磨浆料回收系统，其包括晶片研磨台与晶片研磨浆料回收装置。所述晶片研磨浆料回收装置包括采用空心结构的研磨浆料处理室；所述晶片研磨浆料回收装置设置有连接至晶片研磨机台的浆料流入管道，以及浆料流出管道，其分别通过浆料流入口、浆料流出口与研磨浆料处理室连接，浆料流出管道端口处设置有浆料收集槽；所述研磨浆料处理室内部设置有多级过滤装置，过滤装置中至少包含有一级大孔径过滤装置，以及一级小孔径过滤装置；所述大孔径过滤装置设置在浆料流入管道对应位置；所述小孔径过滤装置设置在浆料流出管道对应位置，且其与浆料流出管道之间设置有阻隔层。

    作为本实用新型的一种改进，所述大孔径过滤装置由支架与过滤网组成；所述支架包括多根长度相同，且由浆料流入口边缘向研磨浆料处理室内部延伸的条形支架，以及设置在条形支架端点上的环形支架；所述过滤网设置在支架内侧， 且与支架紧密连接。采用上述设计，其可有效过滤去浆料中的较大粉末；采用锥台状的过滤装置，其与浆料自浆料流入管道流出后的自然倾泻角度相符，从而避免浆料的冲击对条形支架间的过滤网造成破坏；同时将过滤网设置在支架内侧，其可避免过滤网在长期冲击下与支架之间剥离。

作为本实用新型的一种改进，所述大孔径过滤装置中设置有四根条形支架，其与浆料流入口所在平面所处锐角大小均相等；相邻条形支架之间夹角均相等，其可有效确保过滤装置的稳定程度，有效增加其使用寿命。

作为本实用新型的一种改进，所述小孔径过滤装置包括框架与过滤网；所述框架包括上边部、下边部，以及侧边部，其中，上边部与研磨浆料处理室中浆料流出口所在端面活动连接，下边部与研磨浆料处理室底面活动连接，侧边部与研磨浆料处理室侧边部活动连接；所述过滤网在设置在框架边部之间；所述阻隔层设置在框架所在平面与浆料流出口之间，其与框架所在平面平行；所述阻隔层上设置有浆料流出阀。

作为本实用新型的另一种改进，所述框架的侧边部上均设置有卡扣，研磨浆料处理室对应端面在其对应位置设置有与卡扣相对应的卡槽，其可轻易取下小孔径过滤装置，从而使得浆料流入浆料流出管道。

作为本实用新型的另一种改进，所述框架下边部与阻隔阀之间的研磨浆料处理室内壁上设置有电控阀，且与通过PLC控制，其可以有效清除过滤去的较小粉末，避免其再次混入浆料之中。

作为本实用新型的另一种改进，所述大孔径过滤装置中过滤网的网眼直径为4至5微米，所述小孔径过滤装置中过滤网的网眼直径为0.1至0.25微米，其可有效通过大孔径过滤装置过滤去研磨浆料中的较大粉末，并通过小孔径过滤装置过滤去研磨浆料中的较小粉末。

作为本实用新型的另一种改进，所述晶片研磨浆料回收装置上设置有浆料搅拌泵，其由设置在研磨浆料处理室外部的外壳，与设置在外壳内部的电机与搅拌棒连接；所述搅拌棒延伸至研磨浆料处理室内部，其末端设置有搅拌叶片；所述搅拌叶片位于大孔径过滤装置与小孔径过滤装置之间。采用上述设计，其可对已筛选的含有最佳规格的研磨粉末的浆料进行搅拌，使其分布更为均匀，从而使其研磨质量得以改善。