[实用新型]一种制备ITO靶材坯体的装置有效
| 申请号： | 201420085600.8 | 申请日： | 2014-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN203752288U | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 杨硕;郗雨林;王政红 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 |
| 主分类号： | B28B1/26 | 分类号： | B28B1/26 |
| 代理公司： | 洛阳市凯旋专利事务所 41112 | 代理人： | 陆君 |
| 地址： | 471023 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 ito 靶材坯体 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备ITO靶材坯体的装置，包括上模（7）、下模（4）、密封盖（6）和微孔模具（11），其特征是：所述下模（4）的底部设有阀门B（5），在下模（4）的上部设有上模（7），在上模（7）的顶部设有密封盖（6）形成一密闭的腔体，在密闭的腔体的中部设有微孔模具（11）使上模（7）与微孔模具（11）之间形成上工作腔，所述上工作腔通过管路连接真空泵A（2），在真空泵A（2）与上工作腔之间的管路上设有阀门A（1），其中下模（4）通过管路连接真空泵B（10），在真空泵B（10）与下模（4）之间的管路上连接有真空计（8）。
2.根据权利要求1所述的制备ITO靶材坯体的装置，其特征是：所述下模（4）与真空泵B（10）之间设有缓冲罐（12），在下模（4）与缓冲罐（12）之间的管路上设有真空计（8）。
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