[实用新型]玻璃基板监测装置有效
| 申请号： | 201420093928.4 | 申请日： | 2014-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN203833166U | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 刘峻承;谭莉;曾瑞轩;林信安;黄于维;林志明 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | B65G43/00 | 分类号： | B65G43/00;G01L1/00;G01L1/24 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201506 上海市金山*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 监测 装置 | ||
1.一种基板监测装置，包括一设置于旋转腔体中的旋转机台，其特征在于，所述旋转机台包括一底座，位于所述底座上垂直设置有多个定位结构及支撑柱，所述支撑柱用于支撑基板，所述定位结构用于防止基板产生偏移；
部分所述定位结构和/或支撑柱设置有传感器，用于监测所述基板对所述定位结构和/或支撑柱产生的压力。
2.如权利要求1所述的基板监测装置，其特征在于，所述传感器在所述机台静止时和机台转动时分别设置有不同的压力接触感测值范围来对基板进行监测。
3.如权利要求1所述的基板监测装置，其特征在于，所述机台设置有多根延伸臂，所述定位结构均设置于所述延伸臂末端，且该定位结构包括多个定位销。
4.如权利要求3所述的基板监测装置，其特征在于，所述传感器设置于所述定位销上和/或支撑柱的顶部。
5.如权利要求1所述的基板监测装置，其特征在于，相邻所述延展臂之间设置有多根延伸杆。
6.如权利要求3所述的基板监测装置，其特征在于，所述延伸杆的长度小于所述延展臂的长度。
7.如权利要求6所述的基板监测装置，其特征在于，所述支撑柱的顶端低于所述固定销的顶端。
8.如权利要求1所述的基板监测装置，其特征在于，所述底座中心处设置有一传感器。
9.如权利要求1或8所述的基板监测装置，其特征在于，所述传感器为压力感应器或非接触式光学感应器。
10.如权利要求9所述的基板监测装置，其特征在于，各所述传感器均与一报警装置相连。
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