[实用新型]玻璃基板监测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示面板制造领域，具体涉及一种玻璃基板监测装置，在玻璃基板旋转过程中实现对玻璃基板的异常情况进行监测。 

背景技术

如今，随着手机、电脑的迅速发展，人们对屏幕的要求也越来越高，显示面板行业也得到了飞速的发展。 

传统工艺中，制备液晶显示器或玻璃基板等离子体显示器等显示器件时，使用的玻璃基板容易在保管或运输过程中，在其表面上容易产生瑕疵或污迹，进而造成产品缺陷。尤其是在需要对玻璃基板进行旋转操作时，需要将玻璃基板放置于旋转腔体中进行旋转，玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板具体的： 

图1为传统的旋转腔体中旋转机台的结构示意图，如图1所示，该旋转机台上放置有玻璃基板7。该机台包括一圆形可旋转底座1，底座1中心设置有一光学感应器2。同时该底座1向外延伸有四根延展臂3及多根延伸杆4；每个延展臂3的末端皆垂直设置有两根固定销5，且每根固定销的高度皆相等； 

在每根延展臂3、延伸杆4和底座上1方还设置有多根支撑柱6，支撑柱6在延展臂3、延伸杆4和底座呈均匀分布且每根支撑柱的顶面高度低于固定销5的高度。 

在运输过程中，利用机械手臂将玻璃基板7放置于机台上，机台带动玻璃基板7并进行旋转。在传统技术中，可通过在底座1上增设一光学感应器2来监测机台上方是否放置有基板：如果光学感应器2 感应到机台上方没有放置玻璃基板，则会通过报警装置通知操作人员。 

但是操作人员发现，在机台带动玻璃基板进行旋转的过程中，玻璃基板极易产生碎片的情况，而传统技术中增设的光学感应器只能监测机台上方是否存在玻璃基板，无法监测玻璃基板的破片情况，如果有破损的玻璃基板没有被及时发现就进入下一道工序时，则会给生产造成不利影响，进而给生产造成损失。 

中国专利(CN202594969U)公开了一种改善膜层厚度不均的玻璃基板旋转台，包括挡板外框，位于挡板外框内的旋转大盘，位于挡板外框和旋转大盘中心的台板旋转轴，固定在台板旋转轴上的方形台板；所述方形台板的尺寸略小于玻璃基板的尺寸，所述方形台板的边缘设有吸附孔，用于吸附玻璃基板的图像边缘。 

但是在旋转过程中，玻璃基板可能受到旋转时离心力的作用容易产生偏移甚至破片，该文献也并没有提及如何来对玻璃基板的完好性进行实时监测，如果操作人员也无法及时获悉基板的异常状态，异常的基板就会直接进入下一工序，进而给工艺生产造成更大损失。 

实用新型内容

本实用新型根据传统技术无法对基板完整性进行监测的不足，提供了一种基板监测装置，通过在旋转机台上设置有压力感应器，在将玻璃基板放置在机台上时，压力感应器与玻璃基板相接触，如果玻璃基板一旦产生偏移或者破片，压力感应器无法接收到来自玻璃基板正常的接触反馈，通过连接报警装置通过操作人员进行排查，避免产生异常的玻璃基板进入下一工序，进而造成更大的生产损失。 

本实用新型采用的技术方案为： 

一种基板监测装置，包括一设置于旋转腔体中的旋转机台，其特征在于，所述旋转机台包括一底座，位于所述底座上垂直设置多个有定位结构及支撑柱，所述支撑柱用于支撑基板，所述定位结构用于基板的固定防止基板产生偏移； 

部分所述定位结构和/或支撑柱设置有传感器，每个所述传感器均与所述基板相接触，用于监测所述基板对所述定位结构和/或支撑柱产生的压力。 

上述的基板监测装置，其特征在于，所述传感器在所述机台静止时和机台转动时分别设置有不同的压力接触感测值范围来对基板进行监测。 

上述的基板监测装置，其特征在于，所述旋转机台设置有多根延伸臂，所述定位结构均设置于所述延伸臂末端，且该定位结构为固定销。 

上述的基板监测装置，其特征在于，所述传感器设置于所述固定销上和/或支撑柱的顶部表面。 

上述的基板监测装置，其特征在于，相邻所述延展臂之间设置有多根延伸杆。 

上述的基板监测装置，其特征在于，所述延伸杆的长度小于所述延展臂的长度。 

上述的基板监测装置，其特征在于，所述延展臂关于所述底座中心对称，且所述延伸杆关于所述底座中心对称。 

上述的基板监测装置，其特征在于，所述支撑柱的顶端低于所述固定销的顶端。 

上述的基板监测装置，其特征在于，所述底座中心处设置有一传感器。 

上述的基板监测装置，其特征在于，所述传感器为压力感应器或非接触式光学感应器。 

上述的基板监测装置，其特征在于，各所述传感器均与一报警装置相连。