[实用新型]固晶机及其真空吸取支架有效
| 申请号： | 201420098847.3 | 申请日： | 2014-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN203746812U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 梁国康;梁国城;唐军成;卢炳昌 | 申请（专利权）人： | 先进光电器材（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固晶机 及其 真空 吸取 支架 | ||
1.一种固晶机真空吸取支架，其特征在于：它包括吸气嘴、固定板及吸片板；所述固定板与吸片板层叠设置，于吸片板中贯穿厚度方向开设有的吸气腔，所述固定板对应吸片板吸气腔处开设与吸气腔相联通的通孔，固定板的外侧对应通孔设置有吸气嘴。
2.如权利要求1所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于：所述固定板及吸片板间还设有密封圈；所述密封圈与吸片板上的吸气腔外尺寸相适配。
3.如权利要求1所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于：所述固定板与吸片板对应设置有螺孔。
4.如权利要求1所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于：所述吸片板由硬质材料制成。
5.如权利要求1所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于：所述吸片板外表面设有与所需吸取物料外尺寸相适配的吸片槽。
6.如权利要求5所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于：所述吸片板的吸气腔表面积小于吸片槽；吸片板于吸片槽一侧外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道与吸气腔相联通。
7.如权利要求1-5任意一项所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于：所述吸片板外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道与吸气腔相联通。
8.如权利要求1-5任意一项所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于：所述吸片板中设有多个吸气通道，吸气通道与吸片板外表面相通。
9.一种固晶机，其特征在于：它包括如权利要求1-7任意一项所述的固晶机真空吸取支架。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
