[实用新型]固晶机及其真空吸取支架

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体生产设备，尤其是指一种固晶机及其真空吸取支架。

背景技术

现有固晶机取片装置大多配备有真空吸盘，真空吸盘固定在底板上，取片时移动至物料上通过抽真空而将物料吸附从而实现搬运上料。而传统固晶机的真空吸盘结构简单，其整体由软胶材料制成，在材料中间设置一个抽气孔，从而当软性真空吸盘接触到物料后，通过抽气孔抽气借由软性材料变形将物料吸住。但这同时也带来一个问题，就是应为真空吸盘自身柔软形状可变，其吸附物料的表面高低有差别，因此对取片的稳定性及可靠性都有影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服了上述缺陷，提供一种可稳定可靠吸附物料的固晶机及其真空吸取支架

本实用新型的目的是这样实现的：一种固晶机真空吸取支架，它包括吸气嘴、固定板及吸片板；所述固定板与吸片板层叠设置，于吸片板中贯穿厚度方向开设有的吸气腔，所述固定板对应吸片板吸气腔处开设与吸气腔相联通的通孔，固定板的外侧对应通孔设置有吸气嘴；

上述结构中，所述固定板及吸片板间还设有密封圈；所述密封圈与吸片板上的吸气腔外尺寸相适配；

上述结构中，所述固定板与吸片板对应设置有螺孔；

上述结构中，所述吸片板外表面设有与所需吸取物料外尺寸相适配的吸片槽；

上述结构中，所述吸片板由硬质材料制成；

上述结构中，所述吸片板的吸气腔表面积小于吸片槽；吸片板于吸片槽一侧外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道与吸气腔相联通；

上述结构中，所述吸片板外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道与吸气腔相联通；

上述结构中，所述吸片板中设有多个吸气通道，吸气通道与吸片板外表面相通。

本实用新型还涉及一种固晶机，它包括如上所述的固晶机真空吸取支架。

相比于常见固晶机中采用软胶单孔的真空吸盘，本实用新型的有益效果在于采用吸片板的平板式吸附结构，且配合吸气腔可大面积的对物料进行一次性平整稳定的吸附。从而确保了固晶机工作过程中的可靠性。

附图说明

下面结合附图详述本实用新型的具体结构

图1为本实用新型的真空吸取支架结构爆炸图；

图2为本实用新型的真空吸取支架结构示意图。

1-吸气嘴；2-固定板；3-密封圈；4-吸片板；5-物料；21-通孔；22、42-螺孔；41-吸气腔；43-吸气通道；44-吸片槽。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。

请参阅图1以及图2，本实用新型涉及一种固晶机真空吸取支架，它包括吸气嘴1、固定板2及吸片板4。所述固定板2与吸片板4层叠设置，于吸片板4中贯穿厚度方向开设有的吸气腔41，所述固定板2对应吸片板4吸气腔41处开设与吸气腔41相联通的通孔21，固定板2的外侧对应通孔21设置有吸气嘴1，由此工作时，将吸气泵连接在吸气嘴1上，即可透过固定板2直接对吸片板4内的吸气腔41进行抽真空吸附作业。而固定板2在吸片板4一侧起到密封作用，吸片板4的另一侧则可直接吸附物料5。相比于常见固晶机中采用软胶单孔的真空吸盘，本实用新型的有益效果在于采用吸片板的平板式吸附结构，且配合吸气腔可大面积的对物料进行一次性平整稳定的吸附。从而确保了固晶机工作过程中的可靠性。

在一实施例中，所述固定板2及吸片板4间还设有密封圈3。密封圈3与吸片板4上的吸气腔41外尺寸相适配。通过添加密封圈3可改善固定板2盖在吸片板4一侧两者的结合紧密型，进一步保证工作过程中吸片板4中的吸气腔41的密闭程度。

在一实施例中，所述固定板2上设置有螺孔22，而对应的在吸片板4上也设置有螺孔42，从而两者可通过螺栓贯穿各自的螺孔22、42后形成快捷方便安装的紧密连接。

在一实施例中，所述吸片板4外表面设有与所需吸取物料5外尺寸相适配的吸片槽44。吸片槽44的设置一来可以在吸附物料5时提供一个初步的定位，二来也方便吸片板4上的吸气腔、吸气孔的设置。

在一实施例中，至少的，上述吸片板4由硬质材料制成，从而可以确保其下吸附物料5的表面的平整度，在叫好吸附结构下进一步提高吸取物料5过程的稳定性。