[实用新型]一种新型硅片测试机的乘片台盘

权利要求书

1.一种新型硅片测试机的乘片台盘，包括一螺纹圆盘，其特征在于：所述乘片台盘还包括一环体、一支撑组件以及一气缸；所述螺纹圆盘上均匀分布有至少3个孔洞，所述环体内侧边缘均匀开设有三个限位凹槽，所述支撑组件包括一圆形支撑板，所述圆形支撑板四周均匀分布有三个限位块，所述限位块恰能嵌设在所述限位凹槽中，所述限位块上垂直设置有支撑柱，所述螺纹圆盘置于所述环体上，且三个支撑柱穿过所述3个孔洞；所述气缸置于环体下方，且气缸的活塞杆与所述圆形支撑板底部连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型硅片测试机的乘片台盘，其特征在于：所述螺纹圆盘上开设有三个螺纹孔，所述螺纹圆盘通过螺丝穿过螺纹孔与所述环体进行固定连接。