[实用新型]一种用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒中转装置

权利要求书

1.一种用于单晶硅棒切磨一体机的晶棒中转装置，包括支撑座，其特征在于，还包括导轨安装座、导轨、滑块、气缸头部固定座、滑座、气爪、夹紧手爪、气缸尾部固定座和驱动气缸；

所述支撑座的上端安装有导轨安装座；所述导轨安装座上端安装有两根导轨，所述两根导轨互相平行，且每根导轨上嵌套有两个滑块；

所述滑座安装在四个滑块上，所述滑座头部安装有两个夹紧气爪，每个夹紧气爪设有上下两个移动块，移动块以夹紧气爪中心面为基准呈镜像式移动；每个夹紧气爪的上下移动块上分别安装有夹紧手爪，且同一夹紧气爪上的两个夹紧手爪上下对称；

所述驱动气缸包括缸体和活塞杆，所述缸体的结构为圆柱形，且沿气缸轴向方向上设有圆形孔，所述活塞杆的结构为实心圆柱形，活塞杆与缸体的轴心相同，活塞杆外壁与缸体圆形孔过渡配合；驱动气缸的缸体与安装在导轨安装座头部的气缸尾部固定座相连，驱动气缸的活塞杆与安装在滑座尾部的气缸头部固定座相连。

2.根据权利要求1中所述的晶棒中转装置，其特征在于，所述导轨为直线导轨。

3.根据权利要求1中所述的晶棒中转装置，其特征在于，所述夹紧气爪为双作用薄型气爪。

4.根据权利要求1中所述的晶棒中转装置，其特征在于，所述驱动气缸为双作用单活塞杆气缸。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的晶棒中转装置，其特征在于，所述夹紧手爪的夹持面夹角为90°，且夹持面上设有两个手爪垫块，用于夹持方形晶棒。