[实用新型]一种化学机械抛光研磨液过滤装置有效
| 申请号： | 201420117475.4 | 申请日： | 2014-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN203738567U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 熊世伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B57/02;B01D35/12 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 研磨 过滤 装置 | ||
1.一种化学机械抛光研磨液过滤装置，应用于包括研磨液输入管路和研磨液输出管路的化学机械抛光研磨液供应系统中，其特征在于，所述研磨液过滤装置包括：
用于过滤从所述研磨液输入管路中输入的研磨液的研磨液过滤器；所述研磨液过滤器内部结构为网状结构，其网孔分为多层；
连接件；
分别通过所述连接件固定在所述研磨液过滤器两端的第一T型输送管路和第二T型输送管路；
用于输入去离子水的去离子水输入管路，通过所述连接件将其固定在所述第一T型输送管路的一接口；
用于输出经过所述研磨液过滤器的去离子水的去离子水输出管路，通过所述连接件将其固定在所述第二T型输送管路的一接口。
2.根据权利要求1所述的化学机械抛光研磨液过滤装置，其特征在于：所述研磨液过滤装置安装在所述研磨液供应系统的供应臂中。
3.根据权利要求1所述的化学机械抛光研磨液过滤装置，其特征在于：通过所述连接件将所述研磨液输入管路固定在所述第二T型输送管路的另一接口处。
4.根据权利要求1所述的化学机械抛光研磨液过滤装置，其特征在于：通过所述连接件将所述研磨液输出管路固定在所述第一T型输送管路的另一接口处。
5.根据权利要求1所述的化学机械抛光研磨液过滤装置，其特征在于：所述研磨液过滤装置还包括分别用于控制去离子水输入和输出的气阀，所述气阀分别固定在所述去离子水输入管路和去离子水输出管路上。
6.根据权利要求1所述的化学机械抛光研磨液过滤装置，其特征在于：所述研磨液过滤器分为6层，第一层网孔直径大于10μm。
7.根据权利要求6所述的化学机械抛光研磨液过滤装置，其特征在于：所述研磨液过滤器最后一层网孔直径根据研磨液的种类决定选择网孔直径大于0.3μm，或大于0.2μm，或大于0.1μm。
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