[实用新型]镭射母版的光刻机有效
| 申请号： | 201420118893.5 | 申请日： | 2014-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN204123818U | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 蔡旭楠;李晓笙 | 申请（专利权）人： | 广东东南薄膜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B41N1/00 | 分类号： | B41N1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 汕头市潮睿专利事务有限公司 44230 | 代理人： | 郭晓刚;俞诗永 |
| 地址： | 515000 广东省汕头市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镭射 母版 光刻 | ||
【权利要求书】：
1.一种镭射母版的光刻机，其特征在于：包括激光器、多分辨率遮眼片、第一折射透镜、第二折射透镜、缩微透镜、采用旋转电机控制其转动的玻璃光栅片，所述激光器、玻璃光栅片、多分辨率遮眼片、第一折射透镜、第二折射透镜、缩微透镜依次排列。
2.如权利要求1所述的光刻机，其特征在于：所述缩微透镜为10倍缩微透镜。
3.如权利要求1所述的光刻机，其特征在于：所述玻璃光栅片为纳米级条纹的玻璃光栅片。
4.如权利要求1所述的光刻机，其特征在于：所述激光器发出的光束通过带有纳米级条纹的玻璃光栅片发射出两束激光，分别通过多种分辨率遮眼片后置于第一折射透镜上，准直到第二折射透镜上，然后再会聚到缩微透镜的焦点上，形成干涉条纹曝光在感光胶版的工作区域上。
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