[实用新型]一种真空沉积聚对二甲苯膜的恒速蒸发腔体

权利要求书

1.一种真空沉积聚对二甲苯膜的恒速蒸发腔体，其特征在于：包括一恒速蒸发腔体，所述恒速蒸发腔体内设有一仅底面与恒速蒸发腔体接触的聚对二甲苯靶管，所述聚对二甲苯靶管包括一由重力压缩聚对二甲苯粉末而成的聚对二甲苯靶材、一循环水冷却系统、靶管上盖和靶管下盖，所述循环水冷却系统设在所述聚对二甲苯靶材的内部，所述靶管上盖和靶管下盖分别设于聚对二甲苯靶材和循环水冷却系统的上下方，所述聚对二甲苯靶管外侧套有一电磁辐射加热圆筒。

2.根据权利要求1所述的一种真空沉积聚对二甲苯膜的恒速蒸发腔体，其特征在于：所述循环水冷却系统包括有一不锈钢管、一挡板、一冷却水进水口和一冷却水出水口，所述挡板固定在不锈钢管内以将不锈钢管分隔为两条管道，且挡板的下端及左右两端分别固定在靶管下盖及不锈钢管的内壁上，挡板的高度低于不锈钢管的高度以使由挡板分隔的两条管道连通，前述靶管下盖上设有冷却水进水口和冷却水出水口，冷却水进水口和冷却水出水口分别连通由挡板分隔的两条管道，所述不锈钢管内填充有内部循环水。

3.根据权利要求1所述的一种真空沉积聚对二甲苯膜的恒速蒸发腔体，其特征在于：所述聚对二甲苯靶材是由2吨重力压缩聚对二甲苯粉末而成的柱形体。