[实用新型]一种用于真空室内多工位溅射靶的冷却水进出结构有效
| 申请号： | 201420153497.6 | 申请日： | 2014-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN203834008U | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 陈特超;胡凡 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 室内 多工位 溅射 冷却水 进出 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于真空室内多工位溅射靶的冷却水进出结构，其特征在于：包括进水器（14）、旋转水接头（3）、中空旋转轴（1）和长进水管（2）；进水器（14）为中空结构，其下端与侧面装有出水嘴（4）的旋转水接头（3）的进水端连接；旋转水接头（3）的旋转端与中空旋转轴（1）的上端连接，使中空旋转轴（1）可相对旋转水接头（3）以轴线为转轴转动，连接处采用密封垫（10）密封；长进水管（2）穿过中空旋转轴（1）和旋转水接头（3）伸入进水器（14）内，其上末端与进水器（14）之间装有聚氨酯油封圈（9）进行旋转密封；长进水管（2）的下端外壁与中空旋转轴（1）内腔下端口固定连接形成密封；中空旋转轴（1）的侧面开有回水口（12）；所述进水器（14）及长进水管（2）连通组成进水通道；所述长进水管（2）外壁与中空旋转轴（1）及旋转水接头（3）的内腔壁之间的空隙构成回水通道。
2.根据权利要求1所述的用于真空室内多工位溅射靶的冷却水进出结构，其特征在于：所述进水器（14）包括进水嘴（7）、进水法兰（6）与分水法兰（5）；装有进水嘴（7）的进水法兰（6）与分水法兰（5）采取法兰形式连接并且连接处用O型密封圈（8）密封。
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