[实用新型]一种用于真空室内多工位溅射靶的冷却水进出结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜行业的溅射靶材的水冷却领域，特别涉及一种用于真空室内多工位溅射靶的冷却水进出结构。

背景技术

在现代薄膜技术中，离子束溅射由于其污染小、缺陷少、成膜致密，因而被大量应用于高质量光学薄膜的制备中。其原理是在一定真空条件下，利用离子源引出高速、高能量的离子束，经中和器产生的负电子中和变成中性离子束后轰击靶材，将靶材以原子、分子或原子团的形态溅射出来，再沉积到基片上形成薄膜。

为了连续镀制多种材料的薄膜，减少因更换靶材所需的辅助时间，提高生产效率，离子束溅射靶设计成可同时安装多种靶材的多工位靶，靶材通过真空室外电动机带动旋转轴进行换位。在镀膜过程中，靶材会因溅射导致发热而降低靶材的使用寿命，所以需要对靶材进行水冷。由于溅射靶是在真空室内且工作时需转动，因此冷却水如何安全可靠的进出真空室成为溅射靶冷却的难题。

实用新型内容

基于现有技术的不足，本实用新型要解决的问题是提供一种用于真空室内多工位溅射靶的冷却水进出结构。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于真空室内多工位溅射靶的冷却水进出结构，其包括进水器、旋转水接头、中空旋转轴和长进水管；进水器为中空结构，其下端与侧面装有出水嘴的旋转水接头的进水端连接；旋转水接头的旋转端与中空旋转轴的上端连接，使中空旋转轴可相对旋转水接头以轴线为转轴转动，连接处采用密封垫密封；长进水管穿过中空旋转轴和旋转水接头伸入进水器内，其上末端与进水器之间装有聚氨酯油封圈进行旋转密封；长进水管的下端外壁与中空旋转轴内腔下端口固定连接形成密封；中空旋转轴的侧面开有回水口；所述进水器及长进水管连通组成进水通道；所述长进水管外壁与中空旋转轴及旋转水接头的内腔壁之间的空隙构成回水通道。

作为本实用新型一种用于真空室内多工位溅射靶的冷却水进出结构在一方面的改进，所述进水器包括进水嘴、进水法兰与分水法兰；装有进水嘴的进水法兰与分水法兰采取法兰形式连接并且连接处用O型密封圈密封。

本实用新型中，中空旋转轴穿过真空室壁，交界处用磁流体做动密封；中空旋转轴下端连接多工位靶，带动多工位靶旋转换位。多工位靶处在真空室内，旋转水接头和进水器处于真空室外。

工作时，冷却水由进水法兰上的进水嘴进入分水法兰，经长进水管从其下端出口流入靶材的冷却水套，依次经过多块靶材的冷却水套后经中空旋转轴的侧面回水口流至中空旋转轴内壁与长进水管外壁之间构成的回水空隙，最后由旋转水接头固定外壳上的出水嘴流出。

与现有技术相比，本实用新型的冷却水进出结构简单紧凑，拆卸方便，将进水通道和回水通道集成在一根管道中，并且旋转密封结构位于真空室外，即使密封出现故障，也不会对对真空室造成影响，解决了一直以来冷却水如何安全可靠的进出真空室成为溅射靶冷却的难题，特别适合于多工位靶各面靶材单独直接水冷。

下面结合附图详细说明本实用新型,其作为本说明书的一部分,通过实施例来说明本实用新型的原理，本实用新型的其他方面、特征及其优点通过该详细说明将会变得一目了然。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

图1为本实用新型的剖视图；

图2为本实用新型的外部结构示意图；

图3为图1的Ⅰ处局部放大图；

图4为图1的Ⅱ处局部放大图。

图1-4中附图标记的对应关系为：

1-中空旋转轴；2-长进水管；3-旋转水接头；4-出水嘴；5-分水法兰；6-进水法兰；7-进水嘴；8-O型密封圈；9-聚氨酯油封圈；10-密封垫；11-真空室壁；12-回水口；13-靶材连接轴；14-进水器；15-回水管；16-靶材水连接管；17-磁流体密封；18-靶体。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。