[实用新型]MEMS麦克风线路板有效
| 申请号： | 201420162594.1 | 申请日： | 2014-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN203851291U | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 孙德波;刘诗靖;董南京 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H05K1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 线路板 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风线路板，包括线路板主板以及设置在所述线路板主板上的MEMS芯片，定义线路板主板设有MEMS芯片的一面为线路板主板反面，与线路板主板反面相对的一面为线路板主板正面，所述线路板主板正面设有接地铜箔，
其特征在于：所述线路板主板反面上临近所述MEMS芯片位置设有应力槽。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风线路板，其特征在于：所述线路板主板上设有接收声音信号的声孔，所述声孔与所述MEMS芯片相对设置。
3.如权利要求1所述的MEMS麦克风线路板，其特征在于：所述应力槽局部围绕所述MEMS芯片设置在所述线路板主板反面上。
4.如权利要求1所述的MEMS麦克风线路板，其特征在于：所述应力槽为通过铣刀或激光加成而成的凹槽。
5.如权利要求1所述的MEMS麦克风线路板，其特征在于：所述应力槽侧壁与底部设有金属铜箔。
6.如权利要求5所述的MEMS麦克风线路板，其特征在于：所述应力槽底部金属铜箔与线路板主板正面接地铜箔相连。
7.如权利要求5所述的MEMS麦克风线路板，其特征在于：所述应力槽底部金属铜箔为所述线路板主板正面接地铜箔。
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