[实用新型]一种主传动装置

权利要求书

1.一种主传动装置，其特征在于，所述主传动装置至少包括：

旋转气缸以及一端与所述旋转气缸底部连接并沿所述旋转气缸底部滑动的第一横杆；

具有滑槽的第二横杆；所述第一横杆的另一端通过所述第二横杆的滑槽固定于所述第二横杆；所述第一横杆沿所述滑槽来回滑动并在水平方向绕所述第二横杆旋转；

竖轴；所述第二横杆的末端与所述竖轴顶部连接并绕所述竖轴在水平方向旋转；穿过所述第二横杆与所述竖轴的连接端将所述竖轴固定于一基板上的螺杆；

由水平杆和竖直杆连接构成的框架；所述螺杆的顶部连接于所述水平杆；所述竖直杆的底部固定于所述基板上。

2.根据权利要求1所述的主传动装置，其特征在于：所述螺杆位于所述第二横杆上方部分的长度不小于位于所述竖轴内部的长度。

3.根据权利要求1或2所述的主传动装置，其特征在于：所述螺杆的直径不小于所述竖轴直径的三分之一。

4.根据权利要求1所述的主传动装置，其特征在于：所述螺杆的轴心线与所述竖轴的轴心线重合。

5.根据权利要求1所述的主传动装置，其特征在于：与所述螺杆连接的框架为两个。

6.根据权利要求5所述的主传动装置，其特征在于：除与所述螺杆顶部连接的所述框架的水平杆以外，所述另一框架的水平杆与所述螺杆的连接端位于所述竖轴上方与螺杆顶部之间。

7.根据权利要求6所述的主传动装置，其特征在于：所述两个框架的水平投影不在一条直线上。

8.根据权利要求1所述的主传动装置，其特征在于：所述竖轴表面具有卡持传输带的齿轮。

9.根据权利要求8所述的主传动装置，其特征在于：该装置还包括固定于所述基板上且具有齿轮的至少两个传动竖轴，所述至少两个传动竖轴的齿轮中卡有传输带，该传输带与所述竖轴表面齿轮中的传输带首尾连接形成一个闭合传输带。

10.根据权利要求9所述的主传动装置，其特征在于：该装置还包括位于所述基板下方且与所述两个传动竖轴的底部分别连接的夹持杆，所述夹持杆用于夹持晶圆。