[实用新型]一种主传动装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体制造设备，特别是涉及一种用于晶圆的主传动装置。

背景技术

半导体制程中，一种主传动装置是用来将晶圆定位以及传输的装置，该装置在晶圆的定位过程中防止晶圆偏出。如图1所示，表示的是现有技术中所述主传动装置的结构示意图，该装置至少包括：旋转气缸10，一端与所述旋转气缸10底部相连接的第一横杆11，所述第一横杆11可沿所述旋转气缸的底部滑动，所述第一横杆11的另一端与所述第二横杆12通过所述第二横杆的滑槽连接，所述第一横杆可沿所述滑槽来回滑动，同时并可在水平方向绕所述第二横杆12旋转；与所述第二横杆12的末端连接的竖轴13，所述第二横杆可绕所述竖轴13在水平方向旋转，穿过所述第二横杆与所述竖轴13的连接端将所述竖轴固定于一基板14上的螺杆15。

该装置的工作原理是：当所述旋转气缸10在驱动力的作用下旋转时，与所述气缸底部连接的第一横杆11由旋转气缸10带动并在水平方向滑动，由于所述第一横杆的旋动，与所述第一横杆11连接的第二横杆12通过所述滑槽在所述第一横杆11的带动下也发生水平方向的旋动，所述第二横杆的旋动使得与其末端连接的竖轴发生旋转，同时，该装置还包括位于所述竖轴表面的用于卡持传输带的齿轮，在所述基板上还具有另外其他多个竖轴，用于卡持所述传输带，通过传输带将旋转气缸旋转时的外力传输到所述其他多个竖轴，其他多个竖轴就会发生旋转，由于所述其他几个竖轴通过所述基板，并在所述基板的下方通过所述其他多个竖轴连接夹持器，所述夹持器会随着所述竖轴的旋转发生转动从而达到夹持晶圆的目的。

在所述竖轴发生旋转的是由于受到一个扭力，该扭力的作用是使得所述竖轴发生旋转，是一个驱动力，除此之外，位于所述竖轴内部的螺杆也会受到一个较大的切向剪切力，该剪切力是随着扭力的产生同时产生的，而该剪切力作用于所述竖轴内部的螺杆上，所述螺杆经常会被扭断，该剪切力是一个多余的力，但又无法消除。通常情况下，半导体制程中用于晶圆的主传动装置较为昂贵，由于所述螺杆经常性的扭断而需要不断更换，极大地增加了生产需要的费用，造成生产成本上升。因此，有必要提出一种新的用于晶圆的转动装置来解决目前存在的如上所述的问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种主传动装置，用于解决现有技术中由于晶圆主传动装置中的竖轴经常性被扭断并且需要更换新的竖轴而导致半导体生产成本上升的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种主传动装置，所述主传动装置至少包括：旋转气缸以及一端与所述旋转气缸底部连接并沿所述旋转气缸底部滑动的第一横杆；具有滑槽的第二横杆；所述第一横杆的另一端通过所述第二横杆的滑槽固定于所述第二横杆；所述第一横杆沿所述滑槽来回滑动并在水平方向绕所述第二横杆旋转；竖轴；所述第二横杆的末端与所述竖轴顶部连接并绕所述竖轴在水平方向旋转；穿过所述第二横杆与所述竖轴的连接端将所述竖轴固定于一基板上的螺杆；由水平杆和竖直杆连接构成的框架；所述螺杆的顶部连接于所述水平杆；所述竖直杆的底部固定于所述基板上。

作为本实用新型的主传动装置的一种优选方案，所述螺杆位于所述第二横杆上方部分的长度不小于位于所述竖轴内部的长度。

作为本实用新型的主传动装置的一种优选方案，所述螺杆的直径不小于所述竖轴直径的三分之一。

作为本实用新型的主传动装置的一种优选方案，所述螺杆的轴心线与所述竖轴的轴心线重合。

作为本实用新型的主传动装置的一种优选方案，与所述螺杆连接的框架为两个。

作为本实用新型的主传动装置的一种优选方案，除与所述螺杆顶部连接的所述框架的水平杆以外，所述另一框架的水平杆与所述螺杆的连接端位于所述竖轴上方与螺杆顶部之间。

作为本实用新型的主传动装置的一种优选方案，所述两个框架的水平投影不在一条直线上。

作为本实用新型的主传动装置的一种优选方案，所述竖轴表面具有卡持传输带的齿轮。

作为本实用新型的主传动装置的一种优选方案，该装置还包括固定于所述基板上且具有齿轮的至少两个传动竖轴，所述至少两个传动竖轴的齿轮中卡有传输带，该传输带与所述竖轴表面齿轮中的传输带首尾连接形成一个闭合传输带。

作为本实用新型的主传动装置的一种优选方案，该装置还包括位于所述基板下方且与所述两个传动竖轴的底部分别连接的夹持杆，所述夹持杆用于夹持晶圆。