[实用新型]一种防止硅片碎裂的输运装置

权利要求书

1.一种防止硅片碎裂的输运装置，其特征在于：包括主底板（10），在该主底板（10）上分别固定安装有左侧板（3）和右侧板（6），还包括主轴（9），该主轴（9）的一端通过轴承（8）安装在右侧板（6）上，而其另一端通过轴承（8）安装在左侧板（3）上并且该另一端还与步进电机（1）传动连接，在该主轴（9）上靠近右侧板（6）处固定安装有右主动带轮（7），而在该右主动带轮（7）上方的右侧板（6）上安装有两个配套的被动带轮（4），并且在该3个带轮上安装有右传送带；而在该主轴（9）上靠近左侧板（3）处固定安装有左主动带轮，在该左主动带轮上方的左侧板（3）上也安装有两个配套的被动带轮（4），并且在该3个带轮上安装有左传送带。

2.如权利要求1所述的一种防止硅片碎裂的输运装置，其特征在于：其中右主动带轮（7）、左主动带轮和四个配套的被动带轮（4）均为同步带轮，而右传送带和左传送带均为同步带。

3.如权利要求1所述的一种防止硅片碎裂的输运装置，其特征在于：其中右主动带轮（7）上方的两个配套的被动带轮（4）分别位于右主动带轮（7）的左、右两侧，而左主动带轮上方的两个配套的被动带轮（4）分别位于左主动带轮的左、右两侧。

4.如权利要求1所述的一种防止硅片碎裂的输运装置，其特征在于：其中步进电机（1）采用变速步进电机，并且该变速步进电机的输出轴通过联轴器（2）与所述的主轴（9）连接。

5.如权利要求1所述的一种防止硅片碎裂的输运装置，其特征在于：其中步进电机（1）的底部通过电机连接板（11）与电机底板（12）连接。

6.如权利要求1至5中任意一项所述的一种防止硅片碎裂的输运装置，其特征在于：其中在左侧板（3）和右侧板（6）上分别安装有左调节轴承带轮和右调节轴承带轮，该两个带轮分别与左传送带和右传送带接触从而调节其张紧程度。