[实用新型]真空泵抽气装置有效
| 申请号： | 201420185209.5 | 申请日： | 2014-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN203796528U | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 周诗铎;王杨;秦国强;赵庆;边逸军 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/12 | 分类号： | F04B39/12 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空泵 装置 | ||
1.一种真空泵抽气装置，应用于半导体器件的制备工艺中，其特征在于，所述装置包括：至少一机台、管道和若干真空泵；
每个所述机台均通过所述管道分别与所述若干真空泵相连，以进行抽气操作；
其中，与所述管道连接的真空泵的数量大于所述机台的数量。
2.如权利要求1所述的一种真空泵抽气装置，其特征在于，所述管道包括若干第一支管道，若干第二支管道和一主管道。
3.如权利要求1所述的一种真空泵抽气装置，其特征在于，每个所述真空泵均通过一个所述第一支管道与所述主管道连通,每个所述机台均通过一个所述第二支管道与所述主管道连通。
4.如权利要求1所述的一种真空泵抽气装置，其特征在于，所述机台包括反应管、主阀，所述反应管通过所述机台的一内部管路连接所述主阀。
5.如权利要求4所述的一种真空泵抽气装置，其特征在于，所述主阀上设有阀门开关，通过控制所述阀门开关的角度来控制抽气速度。
6.如权利要求1所述的一种真空泵抽气装置，其特征在于，所述主阀与所述真空泵的连接管道上还设有一单向阀门。
7.如权利要求1所述的一种真空泵抽气装置，其特征在于，每个所述机台均通过一个第二支管道以并联的方式与所述主管道连通。
8.如权利要求1所述的一种真空泵抽气装置，其特征在于，每个所述真空泵均通过一个第一支管道以并联的方式与所述主管道连通。
9.如权利要求1所述的一种真空泵抽气装置，其特征在于，所述真空泵的数量比所述机台的数量多一个。
10.如权利要求1所述的一种真空泵抽气装置，其特征在于，所述第一支管道的数量与所述真空泵的数量相同，所述第二支管道的数量与所述机台的数量相同。
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