[实用新型]一种薄悬臂梁压阻式加速度计有效
| 申请号： | 201420207801.0 | 申请日： | 2014-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN203909066U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 付博 | 申请（专利权）人： | 无锡壹资半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 压阻式 加速度计 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄悬臂梁压阻式加速度计，其特征在于，所述的薄悬臂梁压阻式加速度计包括底硅、氧化层、顶硅、玻璃，所述的玻璃上表面有顶硅，顶硅与玻璃之间通过阳极键合，顶硅和底硅之间有氧化层。
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