[实用新型]一种改进的多晶制绒RENA机

权利要求书

1.一种改进的多晶制绒RENA机，其特征在于，包括制绒槽，制绒槽内底部设有均流管组，均流管组包括位于制绒槽各道内的平行于硅片传动方向的均流管，均流管沿其长度方向分布有朝向水平或斜向制绒槽底部的进液口；各道均流管的一端与位于制绒槽内一侧的分配管相联通；制绒槽还设有溢流口，溢流口连接用于收集溢流液体的溢液收集箱，溢液收集箱与分配管通过连接管联通，连接管上设有循环泵。

2.如权利要求1所述的改进的多晶制绒RENA机，其特征在于，所述均流管上的进液口为水平朝向。

3.如权利要求2所述的改进的多晶制绒RENA机，其特征在于，各所述均流管的左右两侧沿所述均流管的长度方向各分布有至少两列、互相交错的进液口。

4.如权利要求1所述的改进的多晶制绒RENA机，其特征在于，所述分配管也设有进液口。

5.如权利要求4所述的改进的多晶制绒RENA机，其特征在于，所述分配管上的进液口至少为两行，且各行进液口相互错开。

6.如权利要求1至5任意一项所述的改进的多晶制绒RENA机，其特征在于，所述制绒槽的底部设有用于固定所述均流管的固定机构。

7.如权利要求6所述的改进的多晶制绒RENA机，其特征在于，所述固定机构为与所述均流管外轮廓相卡合的U形夹。