[实用新型]气体原料供给装置

权利要求书

1.一种气体原料供给装置，它包括原料总管、供给管和反应釜上的进料管，其特征是：在反应釜的上方设有横向滑轨，在横向滑轨上设有纵向滑轨，所述的供给管通过滑块设置在纵向滑轨上，所述原料总管与供给管之间通过软性连接管连接，所述进料管的顶端为软性材质，在进料管的顶端环设有软性齿条，软性齿条的一端设有连接扣，另一端从连接扣的内部穿过，连接扣的外侧设有开口，在开口内暴露出软性齿条的齿，在进料管上设有电动机，电动机的输出轴上设有齿轮，该齿轮与连接扣的开口对应，且与开口处的软性齿条上的齿配合。

2.根据权利要求1所述的一种气体原料供给装置，其特征是：在供给管的底端的内部设有控制阀；在进料管的中下端设有控制阀。

3.根据权利要求2所述的一种气体原料供给装置，其特征是：所述的控制阀为电磁阀。

4.根据权利要求1或2所述的一种气体原料供给装置，其特征是：在纵向滑轨的顶端连接有气缸，气缸的伸出端与滑块连接，气缸带动供给管上下移动。

5.根据权利要求4所述的一种气体原料供给装置，其特征是：所述的横向滑轨可延伸至多个反应釜的进料管的上方。

6.根据权利要求4所述的一种气体原料供给装置，其特征是：软性连接管的最大伸缩长度大于原料总管与进料管之间的距离。

7.根据权利要求1所述的一种气体原料供给装置，其特征是：所述原料总管上设有缓冲罐。

8.根据权利要求7所述的一种气体原料供给装置，其特征是：所述缓冲罐为可变容积罐。