[实用新型]一种机械手结构

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体的生产工艺设备技术领域，更具体地说，是涉及一种机械手结构。

背景技术

在半导体生产工艺中，半导体芯片的来料一般都盛放在等间距的托盘里，出货方式也是放在等间距的托盘或者编带里。因此在半导体生产中，使用机械手将半导体芯片从等间距的托盘或者编带里搬运的应用十分广泛。由于单个机械手已无法满足现在大规模生产的需要，目前的半导体设备一般采用多个机械手共同工作的方式。现有的半导体设备主要有三种方式：1)手动调整的方式，通过工具手动松开吸杆上的螺丝，左右移动到需要到达的位置，然后再手动拧紧固定螺丝。这种结构的缺陷和不足之处在于：花费时间较长，调整精度不够；2)慢速自动调节方式，该方式的机械手装置，通过设置一排机械手让该装置逐个调整至需要的位置。该结构的缺陷和不足之处在于：精度较高，但是速度太慢，花费时间较长3)快速自动调节的方式,这种结构的装置,两个机械手固定在一根皮带上，皮带在电机和皮带轮的带动下可以左右移动，因此可以均等调整机械手间距。其缺陷和不足之处在于：虽然精度高，速度也快，但是机械手的数量太少，只限2个机械手。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：针对现有技术的不足，提供一种结构简单，能够方便快捷地实现多个活动吸杆间隙调整，从而满足在半导体生产工艺中对活动吸杆不同间距的要求的机械手结构。

要解决以上所述的技术问题，本实用新型采取的技术方案为：

本实用新型为一种机械手结构，所述的机械手结构包括驱动调节部件，活动板，活动板上设置多道凹进的轨道，多道轨道之间设置为非平行布置的结构，每个轨道内分别安装一个活动吸杆，多个活动吸杆分别与驱动调节部件连接，驱动调节部件设置为能够带动多个活动吸杆沿各个轨道上下移动的结构。

所述的机械手结构还包括固定板，固定板与活动板活动连接，驱动调节部件与活动板连接，驱动调节部件设置为能够带动活动板相对固定板上下移动的结构，固定板上设置一道水平布置的开槽，开槽内安装横向滑轨，横向滑轨上活动安装多个滑块，滑块后端部分别嵌装在一个轨道内，每个滑块前端部分别安装一个活动吸杆。

所述的驱动调节部件包括伺服电机，丝杆，丝杆一端与伺服电机连接，丝杆另一端设置为穿过活动板上的丝孔的结构，伺服电机与能够控制伺服电机启停和正反转动的驱动器连接，伺服电机设置为正反转动时能够分别带动活动板上下运动的结构。

所述的每道轨道分别包括轨道上端部和轨道下端部，每两道轨道的轨道上端部之间距离设置为大于两个轨道下端部之间距离的结构。

所述的轨道设置为“一”字形结构，所述的固定板的左端部和右端部分别设置一个上下滑轨，所述的两个上下滑轨内分别安装在两个上下滑块上，两个上下滑块分别与活动板左端部和右端部连接。

所述的每个滑块的后端部上分别设置一个凸出的卡柱部，每个滑块分别通过卡柱部卡装在多个轨道内。

所述的机械手结构还包括一个固定吸杆，固定吸杆与固定板左端部连接。

采用本实用新型的技术方案，能得到以下的有益效果：

本实用新型所述的机械手结构，能够实现活动板相对于固定板上下运动，当驱动调节部件带动活动板上下运动时，嵌装在多个轨道内的多个滑块分别沿着轨道上下运动，由于轨道设置为非平行结构，当活动板向下运动时，不同轨道内的多个滑块之间距离缩小，活动板向上运动时，不同轨道内的多个滑块之间距离增大，由于多个活动吸杆分别与多个滑块连接，这样，多个滑块之间距离变化时，即达到了调节多个活动吸杆之间距离的问题。本实用新型的结构，自动化程度高，调节活动吸杆间距时无需人工手动操作，完全由驱动调节部件自动调整；调节精度高。采用活动板、固定板、伺服电机、丝杠、滑轨和滑块互相配合的方式，调整精度可达0.02mm，从而确保铲平精度。速度快。伺服电机只需在一秒内就能完成各个活动吸杆不同间距尺寸的转换，而且同时完成多个活动吸杆之间间距的调整；扩展性强。可根据生产实际需要，扩展不同数量的活动吸杆，提高本实用新型装置的适用范围。

附图说明

下面对本说明书各附图所表达的内容及图中的标记作出简要的说明：

图1为本实用新型所述的机械手结构的整体结构示意图；

图2为本实用新型所述的机械手结构的固定板的正视结构示意图；

图3为本实用新型所述的机械手结构的活动板的正视结构示意图；

图4为本实用新型所述的机械手结构的固定板的后视结构示意图；