[实用新型]周转箱

权利要求书

1.一种周转箱，其特征在于，包括：箱体和至少一个卡合单元；所述箱体具有一用于取放物料的开口；所述卡合单元的两端均设置有弹性部件，所述卡合单元靠近所述开口并通过所述弹性部件与所述箱体连接。

2.如权利要求1所述的周转箱，其特征在于，所述卡合单元包括卡合杆、第一控制杆和第二控制杆，所述第一控制杆和第二控制杆垂直设置且分别与所述卡合杆固定。

3.如权利要求2所述的周转箱，其特征在于，所述第一控制杆位于所述卡合杆的中部，所述第二控制杆位于所述卡合杆的一端。

4.如权利要求2所述的周转箱，其特征在于，所述箱体包括矩形底板和侧板，所述侧板围绕于所述矩形底板的四周并与所述矩形底板固定；所述侧板上设置有至少一个第一滑槽和至少一个第二滑槽，所述第一滑槽和第二滑槽分别位于相邻的面，所述第一控制杆和第二控制杆分别沿着所述第一滑槽和第二滑槽移动。

5.如权利要求4所述的周转箱，其特征在于，所述侧板中相对的两面分别设置有多个插槽，所述多个插槽相互配合用于放置多个晶圆。

6.如权利要求5所述的周转箱，其特征在于，所述卡合杆具有多个V型卡槽，所述多个V型卡槽的间距和宽度与所述多个插槽的间距和宽度相等。

7.如权利要求5所述的周转箱，其特征在于，所述多个插槽位于所述第一滑槽的同一面和相对面。

8.如权利要求4所述的周转箱，其特征在于，所述第一滑槽和第二滑槽的数量均与所述卡合单元的数量均为2N个，N为正整数。

9.如权利要求8所述的周转箱，其特征在于，所述卡合单元的数量为两个，所述第二滑槽的数量为两个且均设置于同一面上，所述第一滑槽的数量为两个且分别设置于相对的面上。

10.如权利要求8所述的周转箱，其特征在于，所述第一滑槽与其相邻的第一滑槽和第二滑槽均连为一体。