[实用新型]周转箱

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，特别涉及一种周转箱。

背景技术

在集成电路制造过程中通常使用周转箱(cassette，也称卡匣)进行物料如晶圆的存储和运输。为了便于取放，现有的周转箱通常采用开放式结构。

图1为现有技术的周转箱的结构示意图。如图1所示，现有的周转箱100包括底板110和侧板120，所述侧板120围绕于所述底板110的四周并与所述底板110固定形成箱体，所述侧板120中相对的两面分别设置有多个插槽122，所述多个插槽122相互配合用以放置多个晶圆，所述底板110相对的一侧为开口130，所述开口130用于取放晶圆。通常的，所述开口130比所述底板110略宽。

使用所述晶圆周转箱100时，将晶圆放置于所述侧板120与底板110配合形成的箱体内部，并插入所述插槽122中以避免相互碰撞。但是由于所述晶圆周转箱100不是封闭式结构，其在运输和操作过程中一旦出现倾斜，晶圆容易从所述开口130中滑出，造成晶圆损伤或破片。

基此，亟需提供一种可防止所存放的晶圆滑出而造成晶圆破损的周转箱。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种周转箱，以解决现有技术中晶圆容易从晶圆周转箱中滑出而造成晶圆破损的问题。

为解决上述问题，本实用新型提供一种周转箱，所述周转箱包括：箱体和至少一个卡合单元；所述箱体具有一用于取放物料的开口；所述卡合单元的两端均设置有弹性部件，所述卡合单元靠近所述开口并通过所述弹性部件与所述箱体连接。

可选的，在所述的周转箱中，所述卡合单元包括卡合杆、第一控制杆和第二控制杆；所述第一控制杆和第二控制杆垂直设置且分别与所述卡合杆固定。

可选的，在所述的周转箱中，所述第一控制杆位于所述卡合杆的中部，所述第二控制杆位于所述卡合杆的一端。

可选的，在所述的周转箱中，所述箱体包括矩形底板和侧板，所述侧板围绕于所述矩形底板的四周并与所述矩形底板固定；所述侧板上设置有至少一个第一滑槽和至少一个第二滑槽，所述第一滑槽和第二滑槽分别位于相邻的面，所述第一控制杆和第二控制杆分别沿着所述第一滑槽和第二滑槽移动。

可选的，在所述的周转箱中，所述侧板中相对的两面分别设置有多个插槽，所述多个插槽相互配合用于放置多个晶圆。

可选的，在所述的周转箱中，所述卡合杆具有多个V型卡槽，所述多个V型卡槽的间距和宽度与所述多个插槽的间距和宽度相等。

可选的，在所述的周转箱中，所述多个插槽位于所述第一滑槽的同一面和相对面。

可选的，在所述的周转箱中，所述第一滑槽和第二滑槽的数量均与所述卡合单元的数量均为2N个，N为正整数。

可选的，在所述的周转箱中，所述卡合单元的数量为两个，所述第二滑槽的数量为两个且均设置于同一面上，所述第一滑槽的数量为两个且分别设置于相对的面上。

可选的，在所述的周转箱中，所述第一滑槽与其相邻的第一滑槽和第二滑槽均连为一体。

综上所述，在本实用新型提供的周转箱中，在箱体靠近开口的位置处增设至少一个卡合单元，通过所述卡合单元卡住所述周转箱内的晶圆，能够避免晶圆在运输或操作过程中从所述周转箱的开口中滑出。

附图说明

图1是现有技术的晶圆周转箱的结构示意图；

图2是本实用新型实施例一的周转箱的结构示意图；

图3是本实用新型实施例一的卡合单元的结构示意图

图4是本实用新型实施例二的箱体的结构示意图；

图5是本实用新型实施例二的周转箱的结构示意图；

图6是本实用新型实施例三的周转箱的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的周转箱作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

【实施例一】

请结合参考图2和图3，其为本实用新型实施例的周转箱的结构示意图。如图2所示，所述周转箱200包括：箱体210和至少一个卡合单元220；所述箱体210具有一用于取放物料的开口213；所述卡合单元220的两端均设置有弹性部件230，所述卡合单元220靠近所述开口213并通过所述弹性部件230与所述箱体210连接。