[实用新型]测试探针台有效
| 申请号： | 201420235134.7 | 申请日： | 2014-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN203811645U | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 张程 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测试 探针 | ||
【权利要求书】：
1.一种测试探针台，其特征在于，包括承载台以及两个探针卡，所述承载台的上表面和下表面均固定有晶圆，所述探针卡分别位于所述承载台的两侧，以对所述承载台上表面和下表面固定的晶圆进行测试。
2.如权利要求1所述的测试探针台，其特征在于，所述承载台的下表面上设置有多个吸附孔。
3.如权利要求2所述的测试探针台，其特征在于，所述多个吸附孔均匀分布于所述承载台的下表面。
4.如权利要求3所述的测试探针台，其特征在于，所述承载台通过通气管道与真空抽气系统以及导气系统相连接。
5.如权利要求1所述的测试探针台，其特征在于，所述承载台侧面的边缘设置有固定装置，以固定所述承载台下表面的晶圆。
6.如权利要求5所述的测试探针台，其特征在于，所述固定装置包括相互连接的固定部与夹持部，所述固定部位于所述承载台的侧面，所述夹持部夹持在所述承载台下表面的晶圆上。
7.如权利要求6所述的测试探针台，其特征在于，所述承载台上的固定装置的个数大于等于3个。
8.如权利要求7所述的测试探针台，其特征在于，所述承载台上设置有四个固定装置。
9.如权利要求8所述的测试探针台，其特征在于，所述四个固定装置夹持在晶圆上的位置各相隔90度。
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