[实用新型]加热设备

权利要求书

1.一种加热设备，具有至少一个导电的第一接触板(11)和至少一个导电的第二接触板(12)和分别具备电阻加热机构(1.3至9.3)的加热件(1至9)，所述电阻加热机构(1.3至9.3)借助第一连接触头(1.1至9.1)与所述第一接触板(11)相连接并且借助第二连接触头(1.2至9.2)与所述第二接触板(12)相连接，其特征在于，所述两个接触板(11、12)位于共同的第一平面(E1)内。 

2.根据权利要求1所述的加热设备，其特征在于，所述加热机构(1.3至9.3)安置在与所述第一平面(E1)平行的、在CVD反应器(24)的处理室(23)的基座(21)下方的平面(E2)内。 

3.根据权利要求2所述的加热设备，其特征在于，沿所述第一平面的面法线方向延伸的连接触头(1.1至9.1、1.2至9.2)，所述连接触头(1.1至9.1、1.2至9.2)与所述加热件的延伸方向呈90°夹角地延伸，和/或所述电阻加热机构(1.3至9.3)形成基本呈90°的弯曲，或者所述连接触头(1.1至9.2)构成90°角。 

4.根据权利要求1所述的加热设备，其特征在于，沿着螺旋线或圆弧线围绕所述设备的中心安置所述电阻加热机构(1.3至9.3)，和/或沿着圆弧线或螺旋线尤其相继地设置或相互嵌套地安置多个所述加热机构(1.3至9.3)。 

5.根据权利要求1所述的加热设备，其特征在于，所述两个接触板(11、12)以一个间距(13)相互间隔，其中，所述间距(13)设计为缝隙，和/或所述两个由金属构成的接触板(11、12)通过由绝缘体构成的间隔保持件(31)相互保持一个间距，其中，所述间隔保持件(31)可配属于连接件(27)。 

6.根据权利要求1所述的加热设备，其特征在于，所述两个位于共同的第一平面(E1)内的第一和第二接触板(11、12)具有齿形的相互咬合的接触凸起(11’、12’)。 

7.根据上述权利要求之一所述的加热设备，其特征在于，分别有两个并排安置的连接触头(1.2、2.2；2.1、3.1；3.2、4.2…；8.2、9.2)配属于一个共同的接触板(11、12)。 

8.根据权利要求1所述的加热设备，其特征在于，平行于所述接触板(11、12)安置的具有支撑件的支撑板(15)，所述支撑板(15)借助所述支撑件支撑着所述加热机构(1.3至9.3)，其中设定，所述支撑件固定所述加热件(1至 9)与所述支撑板(15)的间隔位置和所述加热件(1至9)相互间的间距，和/或所述支撑板(15)被设计为至少在其朝向所述加热件(1)的一侧反射热量。 

9.根据权利要求8所述的加热设备，其特征在于，安置在所述支撑板(15)和所述接触板(11、12)之间的盖板(14)构成开口(18)，所述连接触头(1.1至9.2)突出穿过所述开口(18)。 

10.根据权利要求8或9所述的加热设备，其特征在于，具有所述加热件(1至9)的中央加热设备(10)被具有一个或多个加热件(1至9)的外侧加热设备(26、29)围绕，其中，所述中央加热设备和外侧加热设备(10、26、29)具有能相互独立地通电的加热件(1至9)。 

11.根据权利要求8所述的加热设备，其特征在于，所述支撑板(15)借助连接件(27)与所述接触板(11、12)中的至少一个相连接，和/或所述连接件(27)借助绝缘体(32、33)与所述接触板(11、12)相连接。 

12.根据权利要求10所述的加热设备，其特征在于，所述多个中央加热设备和外侧加热设备(10、26、29)圆形地相互围绕安置，其中，第一中央加热设备(10)具有圆形的轮廓，并且至少一个径向外侧的加热设备(26、29)具有圆环形的轮廓。 

13.根据权利要求12所述的加热设备，其特征在于，径向最外侧的加热设备(29)具有多个并排延伸的加热件(1至5)，所述加热件(1至5)借助所述支撑件相互电气连接。 

14.根据权利要求1所述的加热设备，其特征在于，所述加热件(1至9)由螺旋形卷绕的加热丝(38、39)构成，其中，所述加热件(1至9)尤其由双股加热丝(38、39)构成。