[实用新型]加热设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种设备，具有至少一个导电的第一接触板和至少一个导电的第二接触板和分别具备电阻加热机构的加热件的，所述电阻加热机构借助第一连接触头与所述第一接触板相连接并且借助第二连接触头与所述第二接触板相连接。

背景技术

用于加热CVD(化学气相沉积)反应器的基座的设备由现有技术、例如DE 10 2009 043 960 A1、DE 10 2007 009 145 A1、DE 103 29 107 A1、DE 102005 056 536 A1、DE 10 2006 018 515 A1或DE 10 2007 027 704 A1已知。

在已知的加热件中，热量由流过电阻加热机构的电流产生。电阻加热机构具有第一和第二端部，在这些端部上设有第一和第二连接触头。连接触头相互平行地延伸，但是具有不同的长度。第一、较短的连接触头与第一接触板相连接，该接触板由导电材料制成。但是，在第一接触板的平行面内，第二电气接触板与电阻加热机构有较大间距地延伸。两个电气接触板一定程度上相叠地延伸。较长的第二连接触头穿过第一接触板的开口，并且由此与第二接触板相连接。被第二连接触头穿过的开口比第二连接触头的直径要大，因而在开口的边缘和第二连接触头之间存在间距。这种间距自由空间影响第二连接触头与第一接触板的绝缘性。在加热和冷却加热件的属于现有技术的电阻加热机构时会导致巨大的热应力。这种机械应力能够导致接触板不可逆的变形。这会导致，在长时间使用后和尤其在多次加热和冷却后，在第二连接触头和导电的第一接触板的开口之间形成短路。随后，理论上这会导致整个加热件的毁坏。在此，在使用所述设备时，通过金属的挥发还能够污染CVD反应器的处理室。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，在减少制造费用的情况下延长设备的使用寿命。

根据本实用新型，所述两个接触板处于共同的平面内。接触板可以具有齿形相互咬合的凸起。在接触板之间、尤其在凸起之间可以设置用于绝缘的间隔自由空间。但是，还可以设定，两个接触板通过不导电的、尤其陶瓷的间隔件永久地相互绝缘。根据本实用新型的改进方案还具有这样的优点，即两个连接触头能够是相同长度。所述一个或多个电阻加热机构可以位于共同的平面内。这些电阻加热机构能够沿着圆弧线或者沿着一条或多条螺旋线安置。优选第一连接触头位于由两个接触板构成的、具有圆形轮廓的接触板装置的中央，该第一连接触头优选配属于中央加热件。中央加热件具有在螺旋弧形上延伸的加热机构。中央加热件构成加热设备最内侧的加热区域。在中央加热件的加热机构上连接着多个分别优选在至少180°上延伸的外侧加热件的加热机构。但是，优选全部加热机构中的多数设在共同的、多次绕着中心弯曲的螺旋弧线上。两个在螺旋弧线上相继设置的加热件的直接并排安置的连接触头配属于共同的接触板。由此，大量加热件、例如新加热件连接技术上并联连接。各个加热件的加热功率可以通过它的加热机构的长度来确定。如果加热件相应地提供相同的加热功率，则设定，各个加热件的加热机构的圆弧长度基本相同。因此尤其可以设定，加热设备的各个加热件具有配备基本相同圆弧长度的加热机构。这一方面提高了设备的使用寿命，并且另一方面降低了制造成本。在本实用新型的改进方案中设定，连接触头沿着共同的第一平面的面法线方向突出。因此，连接触头沿着第二平面的方向突出，电阻加热机构位于第二平面内。这种平面构成加热面，接触板的平面与该加热面相隔。在加热面和接触板的平面之间可以设置支撑板。该支撑板能够具有与加热机构相连接的支撑件。由此将加热机构相互相对地固持在位置上。支撑件可以具有基本上Y型的结构。借助两个Y型侧边固持加热机构。优选具有圆形截面的加热机构位于两个Y型侧边之间。Y型支杆与支撑板固定连接。支撑件可以由板件冲压而成，并且形状接合地插入支撑板相应的开口中。每个支撑件可以具有两个相互平行延伸的臂，在这两个臂之间固持有圆形截面的加热机构。相对于设备的中心向外指向的臂可以比向内指向的臂更长。总体上支撑件具有叉形的结构，其中，自由空间的底部在加热机构的轮廓的两个叉尖之间适配。但是，支撑件还可以设计为j型。此外规定，支撑件只具有一个臂。加热件通过一条或多条金属线可以与支撑件相连接。支撑板由不导电的材料制成。支撑件可由金属构成。但是，支撑板也可以由金属制成，并且起到屏蔽板的作用。该支撑板朝向加热件的表面可反射热量。导电的支撑件可以通过绝缘体与支撑板相连接。加热件优选由钨或者钨合金制成。每个加热件可以由加热丝组成。该加热丝是绕着加热件的圆弧形延伸方向的螺旋式卷绕的金属线。优选两个并排延伸的钨丝是电气并联的。两条加热丝盘绕成双股加热丝。但是，还可以安置总体上螺旋形的多于两条的加热丝，以便提供具有三股加热丝的加热件。