[实用新型]硅片化镀处理用摆动装置

权利要求书

1.硅片化镀处理用摆动装置，它包括机架、转轮、旋转电机、机械手、机械手臂、硅片花篮和化镀处理槽，其特征是机架上端装有旋转电机，转轮连接在旋转电机的转轴上，转轮圆心一侧连接机械手臂上端，机械手臂下端设计装有机械手，机械手抓在硅片花篮的提手上，硅片花篮位于化镀处理槽内，机架下端是化镀处理槽。

2.根据权利要求1所述的硅片化镀处理用摆动装置，其特征是所述的机械手包括压手块和拉手块，压手块是“L”状，拉手块是挂钩形状，压手块装在拉手快上端，压手块通过螺栓和螺母固定在机械臂上。

3.根据权利要求1所述的硅片化镀处理用摆动装置，其特征是所述的转轮与机械手臂是偏心连接，转轮上设计有偏心转轴，机械手臂上端安装在偏心转轴上。