[实用新型]气刀干燥装置和基板干燥系统有效
| 申请号： | 201420252917.6 | 申请日： | 2014-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN203810877U | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 刘晓伟;刘耀;李梁梁;丁向前;董志学;郭总杰 | 申请（专利权）人： | 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 干燥 装置 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种气刀干燥装置，包括机架、风机、分别固定在所述机架上的上气刀和下气刀，所述风机为所述上气刀和下气刀供气，其特征在于，所述上气刀的出气口和下气刀的出气口位置相对，但二者宽度不同。
2.如权利要求1所述的气刀干燥装置，其特征在于，所述上气刀和下气刀至少一个设有多个出气口。
3.如权利要求2所述的气刀干燥装置，其特征在于，多个所述出气口分别设有气流控制阀。
4.如权利要求2所述的气刀干燥装置，其特征在于，所述上气刀和下气刀至少一个设有两个出气口。
5.如权利要求1所述的气刀干燥装置，其特征在于，所述上气刀的出气口的宽度为0.03-0.1mm。
6.如权利要求1所述的气刀干燥装置，其特征在于，所述下气刀的出气口的宽度为0.03-0.1mm。
7.一种基板干燥系统，其特征在于，包括基板传输装置和如权利要求1-6任一项所述的气刀干燥装置，所述气刀干燥装置的上气刀和下气刀分别位于所述基板传输装置的传输面的斜上方和斜下方。
8.如权利要求7所述的基板干燥系统，其特征在于，所述基板传输装置为滚轮机构。
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