[实用新型]线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路有效
| 申请号： | 201420253843.8 | 申请日： | 2014-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN203960321U | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 郭爱云 | 申请（专利权）人： | 红安华州光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 438400 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线性 磁控溅射 阴极 均匀 供气 系统 管路 | ||
【权利要求书】：
1.线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路，包括供气底管路座和供气管路盖板，其特征在于：还包括一级分气管路、二级分气管路、三级分气管路、四级分气管路和缓冲布气装置，所述一级分气管路分为两路，所述二级分气管路为一路分为两路的分路构成，所述三级分气管路为一路分为两路的分路构成，所述四级分气管路为一路分为两路的分路构成，多路所述四级分气管路分别连接多个缓冲布气装置。
2.根据权利要求1所述的线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路，其特征在于：所述缓冲布气装置包括缓冲室、挡气板和均匀布气管。
3.根据权利要求1所述的线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路，其特征在于：所述供气底管路座、所述供气管路盖板和所述供气系统管路的紧固件均为非磁性材料。
4.根据权利要求3所述的线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路，其特征在于：所述供气底管路座、所述供气管路盖板和所述供气系统管路的紧固件均为航空压缩铝材、304不锈钢或航空钛板材。
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