[实用新型]线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种大面积磁控溅射镀膜系统，尤其涉及一种线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路。

背景技术

大面积磁控溅射镀膜技术广泛用于建筑、电子、光电、光学、太阳能、装饰和半导体等高新技术行业，成为生产低辐射膜玻璃(Low-E膜玻璃)、阳光控制玻璃、绝缘硅膜、光电显示氧化氧化铟锡(ITO)透明导电膜、硅基太阳能电池和铜铟镓硒太阳能电池掺铝氧化锌(AZO)透明导电膜、氧化锌(ZnO)透明导电膜、大面积铝镜和大面积彩镜等产品的生产关键技术，在实际的生产控制方面镀膜厚度的均匀性是决定产品性能和生产产能的关键因素，而在大面积磁控溅射沉积膜层厚度均匀性的影响因数中工作气体氩气(Ar)和工艺气体氧气(O2)等的混合气体在线性阴极的线性方向均匀布置是一个关键的问题。现有的大面积连续磁控溅射镀膜生产线的镀膜供气系统都是一级均匀布气的进气方式，气体的分布是线性的，不能达到均匀布气的效果。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路，包括供气底管路座和供气管路盖板，还包括一级分气管路、二级分气管路、三级分气管路、四级分气管路和缓冲布气装置，所述一级分气管路分为两路，所述二级分气管路为一路分为两路的分路构成，所述三级分气管路为一路分为两路的分路构成，所述四级分气管路为一路分为两路的分路构成，多路所述四级分气管路分别连接多个缓冲布气装置。

具体地，所述缓冲布气装置包括缓冲室、挡气板和均匀布气管。

进一步地，所述供气底管路座、所述供气管路盖板和所述供气系统管路的紧固件均为非磁性材料。

作为优选，所述供气底管路座、所述供气管路盖板和所述供气系统管路的紧固件均为航空压缩铝材、304不锈钢或航空钛板材。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型提供了线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路，采用了多级一分二均气装置，达到了多次均匀分气的效果，同时采用缓冲布气装置将进入真空室内的溅射工作气体和工艺气体进行均匀分布可以实现气体的有效均匀分布和均匀控制。

附图说明

图1为本实用新型线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路的结构示意图；

图2为图1中的A-A剖面示意图；

图3为图1中的B-B剖面示意图。

图中：1-一级分气管路，2-二级分气管路，3-三级分气管路，4-四级分气管路，5-缓冲室，6-挡气板，7-均匀布气管。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

如图1、图2和图3所示，本实用新型线性磁控溅射阴极均匀供气系统管路，包括供气底管路座、供气管路盖板、一级分气管路1、二级分气管路2、三级分气管路3、四级分气管路4和缓冲布气装置，一级分气管路1分为两路，二级分气管路2为一路分为两路的分路构成，三级分气管路3为一路分为两路的分路构成，四级分气管路4为一路分为两路的分路构成，多路四级分气管路4分别连接多个缓冲布气装置，缓冲布气装置包括缓冲室5、挡气板6和均匀布气管7。供气底管路座、供气管路盖板和供气系统管路的紧固件均为航空压缩铝材、304不锈钢或航空钛板材。

一级分气管路1、二级分气管路2、三级分气管路3、四级分气管路4可以根据实际的阴极长度进行适当增减但不少于两级。

上面的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神前提下，本领域普通工程技术人员对本实用新型技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。